单晶炉全熔检测自动控温方法技术

技术编号:41764455 阅读:23 留言:0更新日期:2024-06-21 21:43
本发明专利技术公开了一种单晶炉全熔检测自动控温方法,涉及单晶硅生产技术领域,包括:加料完成后将单晶炉设定为第一加热参数;获取单晶炉内的固液比例;确定单晶炉内的固液比例所处的阈值区间,获取对应阈值区间所对应的第二加热参数,并将单晶炉设置为第二加热参数。本发明专利技术通过对料块与熔体灰度区分进行比例计算得到固液比例,再由电脑对固液比例实时检测计算,达到参数设定固液比时可直接进行降低加热器功率、调整换热器位置、自动给定埚转等操作,有效提升了工作效率,且降低了人员成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶硅生产,特别是涉及一种单晶炉全熔检测自动控温方法


技术介绍

1、直拉法在单晶炉在运行过程中需要在晶棒提出后加入新的硅料,以保证炉台可以长时间高效率的运行。但当前加料完成后生产人员需要根据炉内实际情况进行升降换热器位置、调整加热器功率、给调温埚转等操作以达到控制液面温度到达熔接液温。

2、料筒提出后人员需时刻关注炉内料块尺寸,料块尺寸为换热器下口1/2时降低主加功率10kw、底加热器功率给至40kw;料块线性尺寸为100mm时,关闭底加热器、降低换热器至0位、手动给至调温埚转。此过程工作量大、工作难度大、对人员技能要求较高,容易出现控温温度高低不均增加断线率,增加无用工时


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题是,克服现有技术的缺点,提供一种单晶炉全熔检测自动控温方法。

2、为了解决以上技术问题,本专利技术的技术方案如下:

3、一种单晶炉全熔检测自动控温方法,包括:

4、加料完成后将单晶炉设定为第一加热参数;

5、获取单晶炉本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:所述加料完成后将单晶炉设定为第一加热参数包括:

3.根据权利要求2所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:所述获取单晶炉内的固液比例包括:

4.根据权利要求3所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:所述确定单晶炉内的固液比例所处的阈值区间,获取对应阈值区间所对应的第二加热参数,并将单晶炉设置为第二加热参数包括:

5.根据权利要求4所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:在所述确定单晶炉内的固液比例所处的阈...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:所述加料完成后将单晶炉设定为第一加热参数包括:

3.根据权利要求2所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:所述获取单晶炉内的固液比例包括:

4.根据权利要求3所述的单晶炉全熔检测自动控温方法,其特征在于:所述确定单晶炉内的固液比例所处的阈值区间,获取对应阈值区间所对应的第二加热参数,并将...

【专利技术属性】
技术研发人员:王晨唐兴华王艺澄王军磊
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1