一种光纤微调结构和半导体检测设备制造技术

技术编号:41757265 阅读:78 留言:0更新日期:2024-06-21 21:39
本技术公开了一种光纤微调结构和半导体检测设备,所述光纤微调结构包括安装单元、第一微调单元和第二微调单元。其中,安装单元上开设有第一光纤安装孔;第一微调单元可移动设置于安装单元上,第一微调单元上开设有第二光纤安装孔,且第二光纤安装孔与第一光纤安装孔同轴设置,第一微调单元用于沿第一方向调节第二光纤安装孔内插入的光纤;第二微调单元可移动设置于第一微调单元上,第二微调单元上开设有第三光纤安装孔,第三光纤安装孔与第二光纤安装孔同轴设置。本技术能够实现高精度角度调整,解决了现有的半导体检测设备由于加工误差光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工,具体涉及一种光纤微调结构和半导体检测设备


技术介绍

1、在半导体检测设备中,光纤的主要作用是传输光信号,将光信号从激光器传输到检测位置,以实现准确、快速的数据采集和传输。

2、现有技术中,半导体检测设备上的光纤在安装到安装板上之后,由于加工的误差,光纤出光会偏离中心轴的x方向和y方向,从而使光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围内,这无疑降低了成像效果和检测质量。

3、基于此,需要一种新技术方案。


技术实现思路

1、有鉴于此,本技术实施例提供一种光纤微调结构和半导体检测设备,以至少解决现有的半导体检测设备光纤安装到安装板上之后光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围的问题。

2、本技术实施例提供以下技术方案:

3、本技术实施例提供一种光纤微调结构,包括:

4、安装单元,所述安装单元上开设有第一光纤安装孔;

5、第一微调单元,所述第一微调单元可移动设置于所述安装单元上,所述第一微调单元上开设有第二光纤安装孔,且本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光纤微调结构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的光纤微调结构,其特征在于,所述安装单元包括:

3.根据权利要求2所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第一微调单元包括:

4.根据权利要求2所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第一安装通孔为两个,并分别位于所述第一螺纹孔的两侧,且所述第一调整螺杆分别穿过两所述第一安装通孔、所述第一螺纹孔设置。

5.根据权利要求1所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第一微调单元包括:

6.根据权利要求5所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第二微调单元还包括:>

7.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种光纤微调结构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的光纤微调结构,其特征在于,所述安装单元包括:

3.根据权利要求2所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第一微调单元包括:

4.根据权利要求2所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第一安装通孔为两个,并分别位于所述第一螺纹孔的两侧,且所述第一调整螺杆分别穿过两所述第一安装通孔、所述第一螺纹孔设置。

5.根据权利要求1所述的光纤微调结构,其特征在于,所述第一微调单元包括:

6...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡伟雄李晓飞李明瑞
申请(专利权)人:魅杰光电科技上海有限公司
类型:新型
国别省市:

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