一种巨量转移方法、显示装置及其制作方法制造方法及图纸

技术编号:41746890 阅读:38 留言:0更新日期:2024-06-21 21:32
本发明专利技术提供了一种巨量转移方法、显示装置及其制作方法,通过将所述发光结构和所述第一临时衬底进行键合,使感应材料包覆各所述LED芯粒;而后去除所述生长衬底,将表面设有感应材料的第二临时衬底沿所述第一临时衬底靠近所述LED芯粒的一侧进行对位贴合;接着,将所述第一临时衬底进行解键合去除后,通过撕膜工艺去除感应材料使各所述LED芯粒的表面裸露,如此实现了芯片的翻转,即可将所述LED芯粒选择性转移至显示面板,从而实现了LED芯粒从晶圆转移到显示面板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及发光二极管领域,尤其涉及一种巨量转移方法、显示装置及其制作方法


技术介绍

1、微元件技术是指在衬底上以高密度集成的微小尺寸的元件阵列。目前,微间距发光二极管(micro led)技术逐渐成为研究热门,工业界期待有高品质的微元件产品进入市场。高品质微间距发光二极管产品会对市场上已有的诸如lcd/oled的传统显示产品产生深刻影响。micro-led技术,即led微缩化和矩阵化技术,指的是在一个芯片上集成高密度、微小尺寸的led阵列的技术,以将像素点的距离从毫米级降低至微米级。由于micro-led性能上表现优越,继承了无机led的高亮度、高良率、高可靠性、体积小、寿命长等优势,在显示领域的应用越来越广泛。

2、在制造微元件的过程中,首先在施体基板上形成微元件,接着将微元件转移到接收基板上。接收基板例如是显示面板。在微型发光二极管的制作过程中,巨量转移是微型发光二极管实现产业化的主要瓶颈,如何解决这一技术难题,成为微型发光二极管成本降低和量产的关键环节。

3、在巨量转移技术层出不穷的今天,主要还是以印章转移在做产品。针对本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种巨量转移方法,其特征在于,所述巨量转移方法包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的巨量转移方法,其特征在于,所述第一临时衬底和/或第二临时衬底包括透明衬底。

3.根据权利要求1所述的巨量转移方法,其特征在于,所述感应材料包括热感应材料、紫外光感应材料、激光感应材料、辐射感应材料、等离子体感应材料、微波感应材料中的任意一种或多种。

4.根据权利要求2所述的巨量转移方法,其特征在于,所述透明衬底包括透明无机材料。

5.根据权利要求4所述的巨量转移方法,其特征在于,所述透明衬底包括玻璃衬底或蓝宝石衬底或氧化钛衬底。p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种巨量转移方法,其特征在于,所述巨量转移方法包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的巨量转移方法,其特征在于,所述第一临时衬底和/或第二临时衬底包括透明衬底。

3.根据权利要求1所述的巨量转移方法,其特征在于,所述感应材料包括热感应材料、紫外光感应材料、激光感应材料、辐射感应材料、等离子体感应材料、微波感应材料中的任意一种或多种。

4.根据权利要求2所述的巨量转移方法,其特征在于,所述透明衬底包括透明无机材料。

5.根据权利要求4所述的巨量转移方法,其特征在于,所述透明衬底包括玻璃衬底或蓝宝石衬底或氧化钛衬底。

6.根据权利要求1所述的巨量转移方法,其特征在于,所述led芯粒包括外延发光层以及用于电接触的电极,且在所述步骤s01中,所述电极设置于所述led芯粒背离所述生长衬底的一侧。

7.根据权利要求6所述的巨量转移方法,其特征在于,在所述步骤s07中,将所述led芯粒选择性对位至所述显示面板的接合垫,通过回流焊接工艺使所述led芯粒的电极与所述接合垫相接合。

8.根据权利要求6或7所...

【专利技术属性】
技术研发人员:谈江乔柯志杰艾国齐蔡建九马英杰
申请(专利权)人:厦门乾照光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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