一种ITO废靶氢化还原用双管炉的供排气装置制造方法及图纸

技术编号:41744411 阅读:23 留言:0更新日期:2024-06-21 21:00
本技术属于金属回收技术领域,涉及一种ITO废靶氢化还原用双管炉的供排气装置。双管炉内设置了两根还原炉管,单根还原炉管搭配设置一组供排气装置,以及:提供氢气的氢气源,提供保护气体的保护气源,供排气装置包括:还原炉管,氢气源的氢气通过第一管路接入还原炉管的进气口;燃烧管,燃烧管的一端与还原炉管的排气口密封连接,燃烧管的另一端设有点火装置;第二管路,保护气源的保护气体通过第二管路接入第一管路。本技术通过将保护气体通过第二管路接入第一管路,能够在使用前将残留在第一管路、还原炉管和燃烧管中的氧气排空,保证还原炉使用的安全性;本技术还能够防止氢气泄漏;保证燃烧管能够持续燃烧。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于金属回收,涉及一种ito废靶氢化还原用双管炉的供排气装置。


技术介绍

1、ito(indium tin oxide)靶材是指由锡、铟、氧三种元素组成的化合物靶材。在制作ito靶材和使用ito靶材的过程中,通常会残留大量边角料、残余废靶、切断粉末等。这些ito废靶料中含有大量的高价值金属锡和铟,具有较高的回收利用价值。

2、目前对ito废靶中的铟锡回收主要是湿法酸浸-置换回收,而正在发展的火法回收技术有碳热还原和氢气还原。其中氢气还原技术被认为是有较大发展前景的技术,原始是氢气燃烧产物是水,无毒、无污染,且可以循环使用。在使用氢气还原废靶时,使用的设备是还原炉,存在如下问题:

3、一是由于还原炉中可能残留氧气,一旦在还原炉出气口点燃氢气,火焰可能会顺管路进入还原炉,造成安全事故。

4、二是还原炉在应用到氢气还原废靶的生产过程中,一旦余氢点火熄灭,如果不能及时切断氢气输送管路,多余的氢气弥漫在空气中,可能造成安全事故。

5、三是一般的还原炉均是间断操作,因此,在还原炉中未反应的残余氢气在尾气处理过程中不本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ITO废靶氢化还原用双管炉的供排气装置,双管炉内设置了两根还原炉管(3),单根还原炉管(3)搭配设置一组供排气装置,以及:提供氢气的氢气源(1),提供保护气体的保护气源(2);

2.根据权利要求1所述的供排气装置,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,混气装置(7)为汇流排或静态混合器。

4.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,还包括:

5.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,氢气源(1)接入混气装置(7)的气压小于保护气源(2)接入混气装置(7)的气压。

<p>6.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种ito废靶氢化还原用双管炉的供排气装置,双管炉内设置了两根还原炉管(3),单根还原炉管(3)搭配设置一组供排气装置,以及:提供氢气的氢气源(1),提供保护气体的保护气源(2);

2.根据权利要求1所述的供排气装置,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,混气装置(7)为汇流排或静态混合器。

4.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,还包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:刘鸿飞李继洪明浩梁鉴华王波
申请(专利权)人:广东先导稀贵金属材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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