【技术实现步骤摘要】
本技术属于金属回收,涉及一种ito废靶氢化还原用双管炉的供排气装置。
技术介绍
1、ito(indium tin oxide)靶材是指由锡、铟、氧三种元素组成的化合物靶材。在制作ito靶材和使用ito靶材的过程中,通常会残留大量边角料、残余废靶、切断粉末等。这些ito废靶料中含有大量的高价值金属锡和铟,具有较高的回收利用价值。
2、目前对ito废靶中的铟锡回收主要是湿法酸浸-置换回收,而正在发展的火法回收技术有碳热还原和氢气还原。其中氢气还原技术被认为是有较大发展前景的技术,原始是氢气燃烧产物是水,无毒、无污染,且可以循环使用。在使用氢气还原废靶时,使用的设备是还原炉,存在如下问题:
3、一是由于还原炉中可能残留氧气,一旦在还原炉出气口点燃氢气,火焰可能会顺管路进入还原炉,造成安全事故。
4、二是还原炉在应用到氢气还原废靶的生产过程中,一旦余氢点火熄灭,如果不能及时切断氢气输送管路,多余的氢气弥漫在空气中,可能造成安全事故。
5、三是一般的还原炉均是间断操作,因此,在还原炉中未反应的残余氢
...【技术保护点】
1.一种ITO废靶氢化还原用双管炉的供排气装置,双管炉内设置了两根还原炉管(3),单根还原炉管(3)搭配设置一组供排气装置,以及:提供氢气的氢气源(1),提供保护气体的保护气源(2);
2.根据权利要求1所述的供排气装置,其特征在于,还包括:
3.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,混气装置(7)为汇流排或静态混合器。
4.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,还包括:
5.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,氢气源(1)接入混气装置(7)的气压小于保护气源(2)接入混气装置(7)的气压。
< ...【技术特征摘要】
1.一种ito废靶氢化还原用双管炉的供排气装置,双管炉内设置了两根还原炉管(3),单根还原炉管(3)搭配设置一组供排气装置,以及:提供氢气的氢气源(1),提供保护气体的保护气源(2);
2.根据权利要求1所述的供排气装置,其特征在于,还包括:
3.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,混气装置(7)为汇流排或静态混合器。
4.根据权利要求2所述的供排气装置,其特征在于,还包括:
<...【专利技术属性】
技术研发人员:刘鸿飞,李继,洪明浩,梁鉴华,王波,
申请(专利权)人:广东先导稀贵金属材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。