A two-dimensional laser autocollimator, comprises a generating device having left and right circularly polarized reticle information in the horizontal axis, so as to produce the reticle information left circularly polarized light and right-handed circularly polarized light to form centrosymmetric cross beam, along the horizontal axis direction and the the cross beam direction are arranged in the first ordinary beam splitter, collimating lens and target mirror, beam splitter and the optical axis of the first level ordinary prism, wherein the 45 degree angle, the common side of the first prism in the first set, in turn, the first lambda / 4 waveplate polarization beam splitter, horizontal line array CCD, the first polarization direction of the reflected light in the prism is the vertical line array CCD. The invention has the characteristics of high measuring accuracy, large measuring range and static or dynamic measurement.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密测试计量仪器,特别是一种二维激光自准直仪。本专利技术可应用于光机装调、棱镜角度标定、导轨的平直度测量、台面的平整度测量、精密转台等惯导 测试设备的检测以及其它计量测试、科学研究工作中。
技术介绍
自准直仪是一种重要的光学精密角度测量仪器,在机械制造、造船、航空航 天、计量测试、科学研究等领域具有广泛的应用。将新型光电探测器件(如CCD、 PSD 或QAPD等)应用到自准直仪系统,构成光电自准直仪,克服了传统自准直仪人工读数和 跟踪零位误差,大大提高了系统的测量精度和使用的方便性。光电自准直仪的基本原理 就是将反射镜(或反射棱镜)的角度变化转换成探测器上像的线量变化,通过测量出线量 变化值换算出角度变化量值。目前,二维光电自准直仪的方案涉及不同的分划板和图像 探测器组合,各有优缺点。 现有的二维光电自准直仪方案有以下几种 现有技术方案之一(参见邹九贵等,"高精度二维自准直仪的研制",计测技 术,Vo1.26, p19, 2006),是采用十字狭缝分划板和面阵CCD的二维光电自准直仪,类 似的方案还有采用圆孔形分划板。由于面阵CCD的封装工艺问题 ...
【技术保护点】
一种二维激光自准直仪,特征在于其构成包括在水平光轴上的具有分划板信息的左旋和右旋圆偏振光的产生装置(1),以产生具有分划板信息的左旋圆偏振光和右旋圆偏振光形成中心对称的“十字”光束输出,沿所述的水平光轴方向和所述的“十字”光束前进方向依次设置第一普通分光棱镜(2)、准直物镜(7)和目标反射镜(8),所述的第一普通分光棱镜(2)的分束面与水平光轴成45°夹角,在所述的第一普通分光棱镜(2)的一侧,在与所述的水平光轴垂直且经目标反射镜(8)返回的光束经所述的准直物镜(7)进入所述的普通分光棱镜(2)后的反射输出的光束前进方向依次设置第一λ/4波片(3)、第一偏振分光棱镜(4)、 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:高敏,卞正兰,董作人,方祖捷,瞿荣辉,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:31[]
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