光学脉冲展宽器、激光装置以及电子器件的制造方法制造方法及图纸

技术编号：41742123 阅读：32 留言：0更新日期：2024-06-19 13:02

将脉冲激光的脉冲宽度拉伸的光学脉冲展宽器具备：偏振片，其将入射的脉冲激光的特定的偏振方向的成分分离；延迟光学系统，其包括传播被偏振片反射或透过了偏振片的脉冲激光的多个反射镜；以及第1法拉第转子，其包括第1磁铁和第1法拉第材料，第1法拉第转子配置在延迟光学系统的光路上，使脉冲激光的偏振方向旋转。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及光学脉冲展宽器、激光装置以及电子器件的制造方法。

技术介绍

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化及高集成化，要求提高分辨率。因此，从曝光用光源放出的光的短波长化得以进展。例如，使用了输出波长约248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长约193nm的激光的arf准分子激光装置，来作为曝光用的气体激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，为350～400pm。因此，当利用使krf和arf激光这样的紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时会产生色差。其结果是，分辨率可能会下降。于是，需要对从气体激光装置输出的激光的谱线宽度进行窄带化，直到达到能够忽略色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了对谱线宽度进行窄带化，有时会设置包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowing module：lnm)。以下，将对谱线宽度进行窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置

3、现有技术文献

4、专利文献</p>

5、专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学脉冲展宽器，其将脉冲激光的脉冲宽度拉伸，其中，

2.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中，

3.根据权利要求2所述的光学脉冲展宽器，其中，

4.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中，

5.根据权利要求4所述的光学脉冲展宽器，其中，

6.根据权利要求5所述的光学脉冲展宽器，其中，

7.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中，

8.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中，

9.根据权利要求4所述的光学脉冲展宽器，其中，

10.一种激光装置，其具备：

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】