一种旁通隔膜阀制造技术

本技术公开了一种旁通隔膜阀，包括：阀主体，其具有用于流体流过的入口流道、出口流道和阀道，阀道连接入口流道和出口流道；阀组件，至少包括活塞，阀杆，及阀芯，该阀芯可相对阀主体移动以启闭阀道端口；还包括旁通流道，开设于阀道侧壁，用于将入口流道内的流体微流渗入出口流道；启闭件，活动连接于阀主体，其用于打开或密封旁通流道，且该启闭件具有用于将旁通流道内液体外散导流的引导面。本技术在阀道侧壁开设旁通流道，当阀道为关闭状态时，通过运动启闭件，单独将旁通流道打开，从而实现料液微流在出口流道内流动的目的，使得出口流道及其他管道持续处于润湿的状态；旁通流道内是微流，其不会影响阀道本身的正常关闭或者打开。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于流体输送，尤其是涉及一种旁通隔膜阀。

技术介绍

1、在半导体行业中，通常使用隔膜阀来输送高纯湿化学品等强腐蚀性液体，这些隔膜阀由阀主体、阀组件和致动组件等组成，其中，阀组件包括设置在阀杆端部的阀芯，阀芯随着阀杆往复移动，实现对阀主体的阀口的关闭或打开。

2、普通的隔膜阀中，一般存在两种通道情况，也就是开或者关的状态，但在一些特殊的流道中，虽然不需要大量的流体进入，但还需要有微流在流道内流动，以保持管道的润湿湿，同时也避免流体停止流动带来沉积、凝固、结晶析出等问题。具体应用情形例如，晶圆在清洗箱内完成清洗后，需要在清洗箱里有微小流量的液体对晶圆持续冲洗，一旦清洗箱内没有持续流动的液体，则颗粒物会重新附着沉积在晶圆表面，导致晶圆的清洗无效。若通过原先的阀芯将阀口微微打开，现有的结构需要做很大的改进，不然无法达到这样的要求。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本技术提供一种旁通隔膜阀，其设置有旁通流道，并通过启闭件实现旁通流道的开启或关闭，使得在阀芯封堵阀道端口时，液体通过打开的旁通流本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旁通隔膜阀，包括：

2.根据权利要求1所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述启闭件包括封闭头，该封闭头具有连续整周圆锥面，所述引导面为封闭头的外周面。

3.根据权利要求2所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述封闭头为圆锥体，所述封闭头的圆周外壁与旁通流道的内壁或开口边沿相抵实现密封。

4.根据权利要求3所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述启闭件打开旁通流道时，所述封闭头的锥形端部位于旁通流道内，以使得液体在旁通流道内形成外扩趋势。

5.根据权利要求4所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述封闭头的最大外径大于所述旁通流道的内径。

6.根...

【技术特征摘要】

1.一种旁通隔膜阀，包括：

2.根据权利要求1所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述启闭件包括封闭头，该封闭头具有连续整周圆锥面，所述引导面为封闭头的外周面。

3.根据权利要求2所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述封闭头为圆锥体，所述封闭头的圆周外壁与旁通流道的内壁或开口边沿相抵实现密封。

4.根据权利要求3所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述启闭件打开旁通流道时，所述封闭头的锥形端部位于旁通流道内，以使得液体在旁通流道内形成外扩趋势。

5.根据权利要求4所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述封闭头的最大外径大于所述旁通流道的内径。

6.根据权利要求3或4所述的旁通隔膜阀，其特征在于：所述旁通流道包括呈中空柱形的主体部分，及呈锥台状的延伸段，所述封闭头的外壁与...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，高杰，王传昊，
申请(专利权)人：杭州科百特半导体分离膜有限公司，
类型：新型
国别省市：