【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、当在扫描或透射电子显微镜(s/tem)上以非常低的相机长度使用电子能量损失光谱(eels)光谱仪以便允许大的收集角度时，由于s/tem的物镜具有色差而发生寄生散焦，其是随着电子能量而变化的焦距。
2、在单个光谱(spectrum)内，这种效应能够通过倾斜光谱平面来校正。这能够通过调整恰好位于狭缝上游的透镜来实现，但是这在使用上是复杂的，因为其通常不是纯功能的。
3、当执行双eels时，其在两个能量之间移动，这两个能量通常是但是并不一定限于光谱的零损失部分和光谱的基本(elemental)边缘部分，并且具有高色散以便允许观察基本边缘部分和零损失部分的高分辨率，在单个光谱内的散焦是小的，但是如果使用非常短的相机长度，则在零损失与边缘之间的散焦会是大的。在这种情况下，仅需要校正光谱之间的散焦，而不需要校正单个光谱中的散焦。这能够通过弯曲磁体上游的额外聚焦元件来实现。
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种用于电子能量损失光谱的系统，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为将所述静电或磁性透镜调整到与第一电子能级相关联的第一设置和与第二电子能级相关联的第二设置。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，对与第一电子能级相关联的第一设置和对与第二电子能级相关联的第二设置的所述调整是手动控制的调整。
4.根据权利要求2所述的系统，其中，对与第一电子能级相关联的第一设置和对与第二电子能级相关联的第二设置的所述调整是基于存储的校准数据的自动调整。
5.根据权利要求2所述的系统，其中，对与第一电子能级相关联...
【技术特征摘要】
1.一种用于电子能量损失光谱的系统，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为将所述静电或磁性透镜调整到与第一电子能级相关联的第一设置和与第二电子能级相关联的第二设置。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，对与第一电子能级相关联的第一设置和对与第二电子能级相关联的第二设置的所述调整是手动控制的调整。
4.根据权利要求2所述的系统，其中，对与第一电子能级相关联的第一设置和对与第二电子能级相关联的第二设置的所述调整是基于存...
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