一种氧化铈的分散方法及一种氧化铈分散液技术

本发明专利技术提供了一种氧化铈的分散方法及一种氧化铈分散液。其中，所述氧化铈的分散方法，包括：使用粉体氧化铈配置第一分散液；将所述第一分散液交替进行高速剪切和超声混合处理，形成第二分散液；静置所述第二分散液，除去沉淀。通过本发明专利技术中所使用的方法制得的氧化铈分散液具有较好的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化工原料，尤其涉及一种氧化铈的分散方法及一种氧化铈分散液。

技术介绍

1、氧化铈作为一种常用的化学机械抛光液中的研磨颗粒有着重要的应用意义。氧化铈抛光液有着众多的优势相比氧化硅的抛光液。可以列举如下，具有低固含量，高反应活性，高选择比的特性。氧化铈的抛光液主要目前使用在feol中sti，ild制成中。由于氧化铈抛光液使用在sti中，所以对于cmp过程中划伤以及钠离子的含量有着重要的要求。如此这样就对于氧化铈的原始分散液有着重要的要求。同时氧化铈的比重大于水，从而保证氧化铈分散液的稳定性至关重要。对于以上所述的要求，可以通过氧化铈粉体的分散过程来加以控制。

2、氧化铈的分散液的稳定性可以通过控制分散液的ph和固含量。金属离子的含量可以通过不添加额外的表面活性剂来控制。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中氧化铈分散液稳定性较差，且等技术问题，本专利技术提供一种氧化铈的分散方法及一种氧化铈分散液。

2、具体的，本专利技术提供一种氧化铈的分散方法，包括：使用粉体氧化铈配置第一分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氧化铈的分散方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

3.如权利要求2所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

4.如权利要求1所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

5.如权利要求4所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

6.如权利要求1所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

7.如权利要求6所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

8.一种使用权利要求1-7中任一分散方法制成的氧化铈分散液。

【技术特征摘要】

1.一种氧化铈的分散方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

3.如权利要求2所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

4.如权利要求1所述的氧化铈的分散方法，其特征在于，

5...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鹏宇，陈越，陈寅斌，李守田，
申请(专利权)人：安集微电子科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：