AGV自动注水机构制造技术

本技术AGV自动注水机构，包括注水机主体，注水机主体上可伸缩设置有注水管；注水管包括主管体、连接于主管体上的注水头，且注水头上设置有AGV水位光电检测体；注水管对应设置有水管阀门，且还设置有伸出限位感应器。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制备技术及使用装备，具体的，是一种agv自动注水机构。

技术介绍

1、在半导体制备
中，特别是晶圆制备，需要使用洁净室，再制备过程中，使用agv进行物料的运输，agv再使用过程中，需要进行加水，现阶段的加水方式为人工定时定点地为agv内部水箱注入新的纯水，一旦操作员忘记或加水不及时，就会造成agv搬运效能的大量损失。

2、因此，需要提供一种agv自动注水机构来解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种agv自动注水机构。

2、本技术通过如下技术方案实现上述目的：

3、一种agv自动注水机构，包括注水机主体，注水机主体上可伸缩设置有注水管；

4、注水管包括主管体、连接于主管体上的注水头，且注水头上设置有agv水位光电检测体；

5、注水管对应设置有水管阀门，且还设置有伸出限位感应器。

6、进一步的，注水管伸缩动力由正压cda提供。

7、进一步的，水管阀门开启信号由注水机主体上的e84传感器提供。

8、进一步的，e84传感器设置于注水机主体下部，同时用做agv定位件。

9、进一步的，注水机主体上还设置有人机操作界面。

10、进一步的，注水机主体上设置有便于搬运的搬运抓手部，且下部通过固定脚快速固定。

11、与现有技术相比，本技术能够自动化的智能化的进行agv的自动注水，保证agv的连续使用。

【技术保护点】

1.一种AGV自动注水机构，其特征在于：包括注水机主体，注水机主体上可伸缩设置有注水管；

2.根据权利要求1所述的一种AGV自动注水机构，其特征在于：注水管伸缩动力由正压CDA提供。

3.根据权利要求1所述的一种AGV自动注水机构，其特征在于：水管阀门开启信号由注水机主体上的E84传感器提供。

4.根据权利要求3所述的一种AGV自动注水机构，其特征在于：E84传感器设置于注水机主体下部，同时用做AGV定位件。

5.根据权利要求1所述的一种AGV自动注水机构，其特征在于：注水机主体上还设置有人机操作界面。

6.根据权利要求1所述的一种AGV自动注水机构，其特征在于：注水机主体上设置有便于搬运的搬运抓手部，且下部通过固定脚快速固定。

【技术特征摘要】

1.一种agv自动注水机构，其特征在于：包括注水机主体，注水机主体上可伸缩设置有注水管；

2.根据权利要求1所述的一种agv自动注水机构，其特征在于：注水管伸缩动力由正压cda提供。

3.根据权利要求1所述的一种agv自动注水机构，其特征在于：水管阀门开启信号由注水机主体上的e84传感器提供。

4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖帅，魏松，刘畅，蒋欢，曹锦伟，
申请(专利权)人：中环领先半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：