一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法，属于光束取样光栅的取样参数的测量，其目的在于提供一种既具备通用性和经济性，又能实现取样效率、取样角度和取样距离的取样参数测量装置及方法，其激光器输出的激光经一级扩束镜入射至第一分光镜后分成反射激光、透射激光，反射激光依次通过光束提升器、二级扩束镜后入射至光束取样光栅，光束取样光栅生成的“一级”衍射光入射至CCD相机；透射激光经反射镜入射至第二分光镜后生成再反射激光、再透射激光，再反射激光入射至第一积分球功率计，再透射激光经二维扫描反射镜组入射至光束取样光栅并产生的“零级”衍射光、“一级”衍射光分别入射至第三积分球功率计、第二积分球功率计。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学测量，涉及光束取样光栅的取样参数的测量，尤其涉及一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法。

技术介绍

1、光束取样光栅是一种通过全息曝光方式制作而成的衍射光栅，当激光照射其刻蚀面，可生成多级衍射光输出，取一级衍射光作为取样光束，测量取样光能量，可推算出主激光能量。为确保激光能量诊断的准确性，需要预先以离线方式检测得到光束取样光栅的取样参数，该取样参数包括取样效率、取样角度和取样距离。其中，取样角度和取样距离给出了取样光焦点位置，用于明确能量计放置位置；取样效率给出了取样光能量与激光总能量的比值，用于取样光能量测量后，准确推导出激光总能量。

2、传统的取样参数检测手段主要有两种途径，第一种是将激光扩束整形为与光束取样光栅口径相当的大口径会聚光束，用该光束照明光束取样光栅，生成取样光，再对取样光进行检测，得到取样参数；第二种检测方法是使用小口径平行光作为光栅照明激光，通过二维扫描镜组实现光束在空间的平行移动，从而等效拼接为与光束取样光栅口径相当的大口径平行光束。

3、对于第一种取样参数检测方式，如申请号为2014100本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：包括激光器(1)、一级扩束镜(2)、第一分光镜(3)、光挡(4)、反射镜(5)、第二分光镜(6)、第一积分球功率计(7)、光束提升器(8)、二级扩束镜(9)、二维扫描反射镜组、光束取样光栅(12)、第二积分球功率计(13)、CCD相机(14)、第三积分球功率计(15)；

2.如权利要求1所述的一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：二维扫描反射镜组包括X方向扫描反射镜(10)、Y方向扫描反射镜(11)，再透射激光依次经X方向扫描反射镜(10)、Y方向扫描反射镜(11)后入射至光束取样光栅(12)。

3.如...

【技术特征摘要】

1.一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：包括激光器(1)、一级扩束镜(2)、第一分光镜(3)、光挡(4)、反射镜(5)、第二分光镜(6)、第一积分球功率计(7)、光束提升器(8)、二级扩束镜(9)、二维扫描反射镜组、光束取样光栅(12)、第二积分球功率计(13)、ccd相机(14)、第三积分球功率计(15)；

2.如权利要求1所述的一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：二维扫描反射镜组包括x方向扫描反射镜(10)、y方向扫描反射镜(11)，再透射激光依次经x方向扫描反射镜(10)、y方向扫描反射镜(11)后入射至光束取样光栅(12)。

3.如权利要求2所述的一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：x方向扫描反射镜(10)、y方向扫描反射镜(11)的反射角均为45°。

4.如权利要求3所述的一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：再透射激光入射进二维扫描反射镜组后，再透射激光的传播方向与x方向扫描反射镜(10)的移动方向平行；再透射激光从二维扫描反射镜组出射，再透射激光的的传播方向与x方向扫描反射镜(10)、y方向扫描反射镜(11)移动方向正交。

5.如权利要求2所述的一种光束取样光栅的取样参数测量装置，其特征在于：在y方向扫描反...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈竹，李东，刘勇，刘旭，姜宏振，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：