本发明专利技术公开了一种含磷化氢废气处理系统，属于废气处理技术领域，包括吸收塔，所述吸收塔外部由上至下依次设置有排气管、进液管和进气管，所述吸收塔内腔的底部设置有与进气管连通的布气机构，所述进液管的一端伸入吸收塔连接有布液箱，所述布液箱的底壁上阵列设置有雾化喷头，所述布气机构上方转动安装有两块导流板，两块导流板呈倒“八”字形分布，所述布液箱下方设置有两块用于遮挡雾化喷头的挡板，位于同一侧的导流板和挡板之间设置有联动机构，联动机构能够在进气气压改变后调整导流板的角度以及挡板的位置；本发明专利技术可根据废气的进气量自动调整进气面积以及吸收剂的喷淋量，在保证处理效果的同时，还避免了吸收剂的浪费。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及废气处理，具体涉及一种含磷化氢废气处理系统。
技术介绍
1、电子特气在半导体领域具有非常广泛的应用，并且对半导体器件的性能有着决定性的影响，芯片制造的主要工艺如清洗、沉积/cvd、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等都需要使用到电子特气，这些气体在微电子和光电子器件生产过程中，在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏，提高电子气体的纯度可以极大地推动半导体器件质量的提升，而电子特气中的磷化氢废气处理是半导体产业中的一个重要环节，因为这种气体对环境和人体健康都有一定的危害。
2、现有技术中对含磷化氢废气进行吸收净化的方法有燃烧法、湿法和干法，燃烧法能耗高，干法后期处理仍然存在污染，因此湿法处理是较为常用的方法，主要是利用喷淋的吸收剂与磷化氢反应，生成较稳定的磷酸盐类，但是在实际过程中，需要对吸收剂提供足够的水压来保证喷淋效果，而此水压一般是恒定的，而磷化氢废气的产生并不是固定不变的，根据不同的工作状态，产生的废气量也是不断改变的，若产生的废气量较少，进气的气压和气流都较小，此时仍然采用足量的喷淋会造成吸收剂的浪费。
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【技术保护点】
1.一种含磷化氢废气处理系统，包括吸收塔（1），所述吸收塔（1）外部由上至下依次设置有排气管（2）、进液管（5）和进气管（4），其特征在于，所述吸收塔（1）内腔的底部设置有与进气管（4）连通的布气机构（8），所述进液管（5）的一端伸入吸收塔（1）连接有布液箱（6），所述布液箱（6）的底壁上阵列设置有雾化喷头（7），所述布气机构（8）上方转动安装有两块导流板（9），两块导流板（9）呈倒“八”字形分布，所述布液箱（6）下方设置有两块用于遮挡雾化喷头（7）的挡板（10），位于同一侧的导流板（9）和挡板（10）之间设置有联动机构，联动机构能够在进气气压改变后调整导流板（9）的角度以及挡板（10）...
【技术特征摘要】
1.一种含磷化氢废气处理系统，包括吸收塔（1），所述吸收塔（1）外部由上至下依次设置有排气管（2）、进液管（5）和进气管（4），其特征在于，所述吸收塔（1）内腔的底部设置有与进气管（4）连通的布气机构（8），所述进液管（5）的一端伸入吸收塔（1）连接有布液箱（6），所述布液箱（6）的底壁上阵列设置有雾化喷头（7），所述布气机构（8）上方转动安装有两块导流板（9），两块导流板（9）呈倒“八”字形分布，所述布液箱（6）下方设置有两块用于遮挡雾化喷头（7）的挡板（10），位于同一侧的导流板（9）和挡板（10）之间设置有联动机构，联动机构能够在进气气压改变后调整导流板（9）的角度以及挡板（10）的位置，所述挡板（10）活动设置在吸收塔（1）的侧壁上，且挡板（10）上开设有通气口（18）。
2.根据权利要求1所述的一种含磷化氢废气处理系统，其特征在于，两块所述导流板（9）相远离的侧壁上均连接有拉绳（13），所述拉绳（13）的一端连接在吸收塔（1）的内壁上。
3.根据权利要求2所述的一种含磷化氢废气处理系统，其特征在于，所述导流板（9）的一端固定有转轴（11），所述转轴（11）转动安装在吸收塔（1）的侧壁上，所述导流板（9）靠近转轴（11）的一端设置有遮挡布（12），所述遮挡布（12）的一侧连接在吸收塔（1）的内壁上。
4.根据权利要求2所述的一种含磷化氢废气处理系统，其特征在于，所述联动机构包括活动设置在吸收塔（1）侧壁上的活动...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔洋，朱颜，王仕华，王理想，孙建，
申请(专利权)人：全椒南大光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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