【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光切割机，具体为一种晶圆激光切割机防护机构。
技术介绍
1、激光切割机是将从激光器发射出的激光，经光路系统，聚焦成高功率密度的激光束，激光束照射到工件表面，使工件达到熔点或沸点，同时与光束同轴的高压气体将熔化或气化金属吹走，从而达到切割的目的。
2、譬如一种具有防护结构的激光切割机(公告号：cn219484593u)，该装置包括切割机，通过设置有控制组件，当需要对定位板上的工件进行固定时，通过启动电机，电机的输出轴带动齿轮进行旋转，齿轮旋转时，齿条将在弹簧一的作用下带动竖杆进行移动，竖杆移动时竖杆表面所固定的夹板将同步进行移动，夹板对定位板上的工件进行固定时，工件将抵住固定柱内的压杆，压杆在弹簧二的作用下向固定柱内移动，压杆抵住平衡杆的一端，因为平衡杆与支块铰接，则平衡杆的另一端将翘起推动横杆在弹簧三的作用下在固定杆内移动，并将卡杆卡入齿轮内并通过卡块进行固定，则可对工件固定的同时避免对工件造成损坏。
3、该装置的结构较为复杂，生产成本较大，且利用电机带动零部件运转对防护门进行固定，且电机在发生故障时...
【技术保护点】
1.一种晶圆激光切割机防护机构，包括用于安装晶圆激光切割机的防护箱(1)，其特征在于：所述防护箱(1)的一侧滑动安装有两组箱门(2)，其中一组所述箱门(2)的一侧固定连接有插块(3)，另外一组所述箱门(2)的一侧开设有插槽，所述插块(3)插接在插槽的内部，所述插块(3)的顶部还开设有卡槽，所述卡槽的内部卡接有卡块(4)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割机防护机构，其特征在于：所述吸尘组件包括吸尘风机(9)，所述吸尘风机(9)安装在防护箱(1)的一侧，所述吸尘风机(9)的吸尘端通过管道固定连通有集尘箱(10)，所述集尘箱(10)的一侧固定连通有吸尘...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆激光切割机防护机构，包括用于安装晶圆激光切割机的防护箱(1)，其特征在于：所述防护箱(1)的一侧滑动安装有两组箱门(2)，其中一组所述箱门(2)的一侧固定连接有插块(3)，另外一组所述箱门(2)的一侧开设有插槽，所述插块(3)插接在插槽的内部，所述插块(3)的顶部还开设有卡槽，所述卡槽的内部卡接有卡块(4)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割机防护机构，其特征在于：所述吸尘组件包括吸尘风机(9)，所述吸尘风机(9)安装在防护箱(1)的一侧，所述吸尘风机(9)的吸尘端通过管道固定连通有集尘箱(10)，所述集尘箱(10)的一侧固定连通有吸尘管(11)，所述吸尘管(11)的一端贯穿防护箱(1)并固定连通有吸尘罩(12)，且所述吸尘罩(12)位于吸盘(7)的上方。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆激光切割机防护机构，其特征在于：所述防护箱(1)的一侧固定安装有支撑板(20)，所述吸尘风机(9)与集尘箱(10)均固定安装在支撑板(20)的顶部。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割机防护机构，其特征在于：所述防护箱(1)位于两组箱门(2)的上下两端均开设有滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪训荣，明涛涛，
申请(专利权)人：武汉宇昌激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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