蒸镀材料、蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置的制造方法制造方法及图纸

为了达成蒸镀膜的均匀性的提高、或蒸镀膜的劣化的降低，蒸镀材料(4)包含：蒸发材料(41)；和熔融材料(42)，其融点比蒸发材料的沸点低，且其沸点比蒸发材料的沸点高，并且，相对于蒸发材料是非活性的。

【技术实现步骤摘要】

本公开关于蒸镀材料、蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置的制造方法。

技术介绍

1、作为薄膜的形成方法，已知有利用加热器使坩埚中的材料熔融和蒸发，使其与位于坩埚上方的物体的表面接触并凝固，从而在物体的表面形成包含该材料的薄膜的蒸镀法。在蒸镀法中，从降低所形成的薄膜的均匀性或薄膜的劣化等观点出发，要求更均匀地加热坩埚内的材料。专利文献1公开了将蒸发材料和热传导率比该蒸发材料高的传热介质收容于坩埚，通过加热坩埚而将蒸发材料更均匀地加热。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本国专利特开2003-2778号公报

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题

2、对于专利文献1所记载的传热介质之间的热传导而言，点接触的传热介质彼此之间的热传导占支配地位。因此，在使用包含上述传热介质的材料的蒸镀中，有时热不会充分地传导至蒸发材料的整体，蒸发材料的加热的均匀性降低。

3、解决问题的方案

4、本公开的一个方式所涉及的蒸材料包含：蒸发材料；和熔本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀材料，其特征在于，包含：

2.根据权利要求1所述的蒸镀材料，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

8.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

9.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀材料，其特征在于，包含：

2.根据权利要求1所述的蒸镀材料，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：小林勇毅，
申请(专利权)人：夏普显示科技株式会社，
类型：发明
国别省市：

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