一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法技术

本发明专利技术公开了一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，旨在提供一种反应混合时间短、工艺稳定可靠，整个反应过程工序操作简单，安全且反应进程可控，实现了含氟玻璃刻蚀液的连续化生产；其技术方案包括：称取各个组分；先将HF溶液和NH<subgt;4</subgt;F溶液泵入至反应器1中，得到混合溶液A；再与HCl溶液泵入至反应器2中，得到混合溶液B；再与HNO<subgt;3</subgt;泵入至反应器3，得到混合溶液C；再与H<subgt;2</subgt;SO<subgt;4</subgt;泵入至反应器4，得到混合溶液D；最后与去离子水泵入至碳化硅微通道反应器5，再依次流过碳化硅微通道反应器6至10中，每个反应器停留0.77‑5min，连续反应得到含氟玻璃刻蚀液；涉及化工技术领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化工、微流控，具体涉及一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法。

技术介绍

1、目前渐渐崛起的微化工生产技术可以缩短化学反应时间，同时能够很好的解决强腐蚀、高污染、高能耗、易燃、易爆等诸多化工难题。

2、微化工技术于20世纪90年代初兴起，该技术利用微米级的通道式反应器进行反应，能促进过程强化和化工系统小型化，提高资源利用率，节能降耗，从根本上解决传统工艺反应不彻底及易爆等技术难题，实现化工生产的本质安全微化工技术的核心是微反应器(也叫微通道反应器)，它是一种通过微加工技术制造的带有微结构的反应设备，其流体通道或者分散尺度在微米量级而其处理量则是从每分钟数微升到每年数万吨的规模。微反应器内部流体的流动或分散尺度在1μ m到1mm之间，称为微流体。微流体相对于常规尺度的流体在传递特性、安全性以及可控性等方面都有很大优势。

3、微流控已经发展成为医学、材料、化学、机械等学科的交叉前沿研究热点，在学术界和工业界都备受关注。目前，可用于制备微流控的技术和材料有限，阻碍了微流控的广泛应用与发展。现有的各种技术各有优缺点。光刻蚀技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，所述的氢氟酸溶液质量浓度为40％；所述的盐酸溶液质量浓度为38％；所述的硝酸溶液质量浓度为65％；所述的硫酸溶液质量浓度为98％；所述的氟化铵溶液质量浓度为40％。

3.根据权利要求1所述的一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，所述的碳化硅微通道反应器1、碳化硅微通道反应器2、碳化硅微通道反应器3、碳化硅微通道反应器4、碳化硅微通道反应器5、碳化硅微通道反应器6的单片持液量均为10ml。

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【技术特征摘要】

1.一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，所述的氢氟酸溶液质量浓度为40％；所述的盐酸溶液质量浓度为38％；所述的硝酸溶液质量浓度为65％；所述的硫酸溶液质量浓度为98％；所述的氟化铵溶液质量浓度为40％。

3.根据权利要求1所述的一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，所述的碳化硅微通道反应器1、碳化硅微通道反应器2、碳化硅微通道反应器3、碳化硅微通道反应器4、碳化硅微通道反应器5、碳化硅微通道反应器6的单片持液量均为10ml。

4.根据权利要求1所述的一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其特征在于，所述的第一进料泵、第二进料泵物料流速0.50-5.00ml/min，停留时间为1-10min。

5.根据权利要求1所述的一种连续流制备含氟玻璃刻蚀液的合成方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪红兵，罗爽，刘佳佳，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
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