一种单晶金刚石衬底的激光打标方法技术

本申请公开了一种单晶金刚石衬底的激光打标方法，属于单晶金刚石激光打标技术领域。该激光打标方法包括下述步骤：（1）在单晶金刚石衬底的待打标面形成无定形碳缓冲层；（2）在单晶金刚石衬底的待打标面进行激光打标；（3）去除无定形碳缓冲层，得到打标完成的单晶金刚石衬底。该方法通过在单晶金刚石衬底的待打标面形成无定形碳缓冲层，能够在不改变激光参数的情况下顺利对单晶金刚石衬底进行打标，并实现了打标点位清晰、无崩裂的打标效果，提高单晶金刚石衬底的打标成品率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及一种单晶金刚石衬底的激光打标方法，属于单晶金刚石激光打标。

技术介绍

1、金刚石由于其卓越的物理特性在多方面都有应用前景，在实际生产中，常常需要通过激光打标来分辨不同批次的产品。金刚石分为单晶金刚石和多晶金刚石，多晶金刚石对激光的透射性差，激光进入其内部之后能够被反射，因此打标过程比较顺利，不存在打裂的情况。

2、然而单晶金刚石具有优异的光学透过性和硬脆特性，导致在激光打标过程中激光穿透至金刚石内部，从而出现穿透深度不同和打裂等现象，这影响了打标质量和效率。

3、现有的解决方法主要包括调整激光参数、降低激光功率和采用特殊的激光脉冲模式等。然而，这些方法在处理单晶金刚石时仍然存在一些缺陷，例如调整激光参数可能会导致其他材料的打标效果变差，并且比较繁琐，也增加了时间成本，降低激光功率可能会降低打标速度和质量，而特殊的激光脉冲模式则需要额外的设备和复杂的操作，增加了成本和操作难度。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，提供了一种单晶金刚石衬底的激光打标方法，该方法通过在单晶金刚石衬本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，包括下述步骤：

2.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳缓冲层的厚度为0.5~5μm。

3.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳选自乙炔黑、活性炭、硬碳中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳选自乙炔黑和炭黑，且二者的重量比为1：1。

5.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳缓冲层采用涂覆含有无定型碳的悬浮液、化学气相沉积、溅...

【技术特征摘要】

1.一种单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，包括下述步骤：

2.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳缓冲层的厚度为0.5~5μm。

3.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳选自乙炔黑、活性炭、硬碳中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳选自乙炔黑和炭黑，且二者的重量比为1：1。

5.根据权利要求1所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳缓冲层采用涂覆含有无定型碳的悬浮液、化学气相沉积、溅射、蒸镀、熔射中的任意一种方式形成。

6.根据权利要求5所述的单晶金刚石衬底的激光打标方法，其特征在于，所述无定形碳缓冲...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旗，马立兴，刘硕，邵殿领，王立凤，张林，王凯，宋猛，朱灿，隋晓明，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：