一种太阳能电池的制备方法及系统技术方案

本申请公开了一种太阳能电池的制备方法及系统，应用于太阳能电池技术领域，用以解决现有技术中存在的无法监控隧穿氧化层的制备情况的问题。具体为：在电池片上形成隧穿氧化层；测量第一厚度数据，根据第一厚度数据确定的隧穿氧化层的质量数据；确定隧穿氧化层的质量数据满足第一质量要求时，在隧穿氧化层上形成非晶硅层；测量第二厚度数据，根据第二厚度数据确定非晶硅层的质量数据；确定非晶硅层的质量数据满足第二质量要求时，依次进行退火晶化处理、清洗制绒处理、表面钝化处理以及金属化处理，以得到太阳能电池。这样，在隧穿氧化层与非晶硅层的制备工序分离的基础上，实现隧穿氧化层和非晶硅层的制备情况的监控，减少低效片的产生。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池，尤其涉及一种太阳能电池的制备方法及系统。

技术介绍

1、太阳能电池，是一种通过光伏效应将光能直接转化为电能的电力设备。目前，最常见的太阳能电池是topcon(thin oxide passivated contact，隧穿氧化层钝化接触)电池。topcon电池的核心结构由电池的超薄氧化层和重掺杂多晶硅层组成，二者共同形成钝化接触结构。超薄氧化层使多子电子隧穿进入多晶硅层的同时，可阻挡少子的空穴复合，进而使电子在多晶硅层横向传输被金属收集，极大降低了金属接触复合电流，提升了电池的开路电压和短路电流，从而提升了电池效率。因此，topcon电池的工艺核心为厚度1-2nm的隧穿氧化层的制备。

2、目前，隧穿氧化层的制备是要是基于太阳能电池的lpcvd路线或pecvd路线进行制备。当前lpcvd与pecvd路线中，隧穿氧化层和非晶硅层是同步进行沉积制备，无法监控隧穿氧化层的制备情况。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种太阳能电池的制备方法及系统，用以解决现有技术存在的无法监控隧穿本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的隧穿氧化层的第一厚度数据，根据所述第一厚度数据确定的所述隧穿氧化层的质量数据之后，还包括：

3.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的非晶硅层的第二厚度数据，根据所述第二厚度数据确定所述非晶硅层的质量数据之后，还包括：

4.如权利要求1-3任一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的隧穿氧化层的第一厚度数据，根据所述第一厚度数据确定的所述隧穿氧化层的质量数...

【技术特征摘要】

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的隧穿氧化层的第一厚度数据，根据所述第一厚度数据确定的所述隧穿氧化层的质量数据之后，还包括：

3.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的非晶硅层的第二厚度数据，根据所述第二厚度数据确定所述非晶硅层的质量数据之后，还包括：

4.如权利要求1-3任一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的隧穿氧化层的第一厚度数据，根据所述第一厚度数据确定的所述隧穿氧化层的质量数据，包括：

5.如权利要求4所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述测量所述电池片上形成的非晶硅层的第二厚度数据，根据所述第二厚度数据确定所述非晶硅层的质量数据，包括：

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【专利技术属性】
技术研发人员：蒋富辉，马擎天，陈曙鑫，
申请(专利权)人：环晟光伏江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：