【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例涉及具有集成环境屏障结构的基于微机电系统(mems)的压力换能器芯片，其用于保护mems压力换能器的膜免受环境物质(例如，气溶胶、盐颗粒、毛发、湿气(水滴)、油和其他液体)的影响。
技术介绍
1、微机电系统(mems)是一种小型化系统，其包括非常小的形状因子。例如，压力换能器可以被提供为mems，其中小膜可以将其机械振荡换能成电信号，或者反之亦然。mems压力换能器的示例可以是监测轮胎中的空气压力的轮胎压力传感器。另一示例可以是mems麦克风，mems麦克风将声波(作为气压的示例)(诸如音乐或语音)换能成电信号，该电信号然后可以使用专用集成电路(asic)被转换成数字数据。在相反的方向上，mems扬声器可以通过使膜振荡来将数字数据转换成声音。
2、由于其小型化的尺寸，mems压力换能器需要环境保护，因为它们可能受到来自周围环境的若干物理和化学干扰物体的影响，特别是干扰环境物质(例如，气溶胶、盐颗粒、毛发、湿气(水滴)、油和其他液体)，这可能导致较低的稳健性水平和较短的运行时间。
3、mems压力换能...
【技术保护点】
1.一种用于制造具有混合集成环境屏障结构(150)的MEMS压力换能器芯片(100)的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据权利要求1或2所述的方法，
4.根据权利要求1至3中一项所述的方法，
5.根据权利要求1至4中一项所述的方法，
6.根据权利要求1至5中一项所述的方法，
7.根据权利要求1至5中一项所述的方法，
8.根据权利要求1至7中一项所述的方法，
9.根据权利要求1至7中一项所述的方法，
10.一种具有混合集成环境屏障结构(1...
【技术特征摘要】
1.一种用于制造具有混合集成环境屏障结构(150)的mems压力换能器芯片(100)的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据权利要求1或2所述的方法，
4.根据权利要求1至3中一项所述的方法，
5.根据权利要求1至4中一项所述的方法，
6.根据权利要求1至5中一项所述的方法，
7.根据权利要求1至5中一项所述的方法，
8.根据权利要求1至7中一项所述的方法，
9.根据权利要求1至7中一项所述的方法，
10.一种具有混合集成环境屏...
【专利技术属性】
技术研发人员：H·S·瓦西斯托，M·富尔德纳，D·迈尔，A·韦斯鲍尔，S·安辛格尔，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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