一种模块化高真空样品杆存储装置制造方法及图纸

本技术公开了一种模块化高真空样品杆存储装置，所述装置包括主机、操作界面、样品杆存储单元、阀门组件和真空系统；所述操作界面设于主机正面，用于对阀门组件和真空系统进行控制；所述样品杆存储单元位于主机上方，用于存放样品杆；所述阀门组件与样品杆存储单元相连，用于控制不同组件之间及组件与大气环境间的连接；所述真空系统位于主机内，用于控制装置整体的真空度。本技术的存储装置使用自封闭快拆插头实现真空系统与样品杆存储单元的连接，可根据实验室发展及需求变化，随时替换样品杆存储单元的类型或改变数量，实现了对个性化需求的满足以及可调节的存储能力；通过增加手动阀，拓展了设备功能，在基础的样品杆存储功能以外，实现了真空转移样品的功能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子光学，尤其涉及一种包括高真空样品杆、电镜附件、电镜耗材等的模块化高真空样品杆存储装置。

技术介绍

1、透射电子显微镜是一种研究物质微观物理结构、化学性质的高端科研设备，被普遍应用于催化、半导体、能源、生物医学等物质学科的微结构研究，其极高的分辨率能够帮助研究人员直接“看到”材料结构的原子尺度信息；能量色散x射线谱仪(edx)、电子背散射衍射谱仪(ebsd)、电子能量损失谱仪(eels)等分析设备的引入，加强了电镜对材料成分的表征能力。近十年微电子机械系统(mems)快速发展，原位样品杆的出现极大拓展了常规电镜的分析测试功能。通过原位样品杆在电镜内实现材料在外场环境下(如热、电、力、光等)的原子级结构、成分动态表征，为揭示材料原子结构的动态演变与性能之间的关联，理解材料性能表现的机理，设计高性能新材料带来了极大的突破。

2、透射电镜的内部真空度和洁净度标准极高，特别是在原位实验条件下，复杂的实验环境对真空度及洁净度提出了更高的要求。真空度不够高，气体分子会对电子束产生随机散射，严重降低电镜的分辨率；极靴上存在碳氢污染物，将会造成磁场本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种模块化高真空样品杆存储装置，其特征在于，包括主机、操作界面、样品杆存储单元、阀门组件和真空系统；所述操作界面设于主机正面，用于对阀门组件和真空系统进行控制；所述样品杆存储单元位于主机上方，用于存放样品杆；所述阀门组件与样品杆存储单元相连，用于控制不同组件之间及组件与大气环境间的连接；所述样品杆存储单元通过自封闭快拆插头与真空系统连接，所述真空系统位于主机内，用于控制装置整体的真空度。

2.根据权利要求1所述的一种模块化高真空样品杆存储装置，其特征在于，所述操作界面包括触控式操作面板以及控制器，所述触控式操作面板安装于主机正面，控制器位于触控式操作面板背面；所述控制器连...

【技术特征摘要】

1.一种模块化高真空样品杆存储装置，其特征在于，包括主机、操作界面、样品杆存储单元、阀门组件和真空系统；所述操作界面设于主机正面，用于对阀门组件和真空系统进行控制；所述样品杆存储单元位于主机上方，用于存放样品杆；所述阀门组件与样品杆存储单元相连，用于控制不同组件之间及组件与大气环境间的连接；所述样品杆存储单元通过自封闭快拆插头与真空系统连接，所述真空系统位于主机内，用于控制装置整体的真空度。

2.根据权利要求1所述的一种模块化高真空样品杆存储装置，其特征在于，所述操作界面包括触控式操作面板以及控制器，所述触控式操作面板安装于主机正面，控制器位于触控式操作面板背面；所述控制器连接触控式操作面板、阀门组件以及真空系统。

3.根据权利要求1所述的一种模块化高真空样品杆存储装置，其特征在于，所述样品杆存储单元为多个，阵列排布设置；所述样品杆存储单元包括紧固螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴哲敏，姜颖，袁文涛，王勇，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：新型
国别省市：