集成电路、其制备方法、功率放大器及电子设备技术

技术编号:41561938 阅读:23 留言:0更新日期:2024-06-06 23:45
提供了一种集成电路、其制备方法、功率放大器及电子设备,集成电路包括:衬底(1),位于衬底(1)之上的第一成核层(2),位于第一成核层(2)之上的缓冲层(3),位于缓冲层(3)上的沟道层(4),位于沟道层(4),之上的势垒层(5),分别位于势垒层(5)之上的源极(6)、漏极(7)和栅极(8);其中,通过使得缓冲层(3)的位错密度小于1e8cm<supgt;‑2</supgt;,可以提升晶体质量,得到更高质量的外延生长材料,以提升集成电路的器件性能和长期可靠性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】


技术介绍


技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请,权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请,权...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡彬段焕涛倪茹雪朱敏
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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