【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学表面检测，尤其涉及一种光学元件表面检测装置的表面清洁结构。
技术介绍
1、在光学加工过程中，光学表面污染状态的检测和清洁一直是一个繁琐和需要耐心的工作。特别是对于高精度的表面形貌要求为亚纳米精度的光学元件，不仅是在镀膜前和出厂前需要进行仔细检测和清洁，在面形检测前也需要对表面污染情况进行检测和彻底的清洁。传统的检测和清洁的方式往往需要通过人工，利用放大镜在强光下进行检测，然后根据污染情况进行相应的清洁工作。这种方式费事费力，而且对检测人员的要求很高，检测人员的经验和眼睛的具体状况都会对检测结果有影响。况且检测过程中长时间对着强光进行观察，对眼睛损害较大，实用性较低。
2、中国专利文献cn214541576u公布了一种光学表面污染检测清洁装置，括恒温箱体；恒温箱体内装有洁净水；恒温箱体的一侧连接有喷嘴，恒温箱体的另一侧安装有风扇，风扇用于向恒温箱体内送风，使恒温箱体内保持一定的空气正压。本专利技术的清洁装置可以让温暖湿润的空气接触到光学表面后在光学表面凝结成雾状微小水珠，一方面使得光学表面的污染部分肉眼可检测，另...
【技术保护点】
1.一种光学元件表面检测装置的表面清洁结构，包括清洁系统(1)和安装在清洁系统(1)下方的供水系统(2)，以及安装在供水系统(2)下方的底座(3)，其特征在于：所述供水系统(2)内设有箱体(21)，所述箱体(21)上方设有垫板(11)，所述垫板(11)上方设有夹具(12)，所述夹具(12)侧面设有罩体(13)，所述箱体(21)上方两端设有固定板(14)，所述固定板(14)上方设有电动伸缩杆(15)，所述电动伸缩杆(15)上方设有固定块(16)，所述固定块(16)的一端设有支撑板(17)，所述支撑板(17)一侧设有水枪(19)，所述支撑板(17)中间设有烘干机(18)，...
【技术特征摘要】
1.一种光学元件表面检测装置的表面清洁结构，包括清洁系统(1)和安装在清洁系统(1)下方的供水系统(2)，以及安装在供水系统(2)下方的底座(3)，其特征在于：所述供水系统(2)内设有箱体(21)，所述箱体(21)上方设有垫板(11)，所述垫板(11)上方设有夹具(12)，所述夹具(12)侧面设有罩体(13)，所述箱体(21)上方两端设有固定板(14)，所述固定板(14)上方设有电动伸缩杆(15)，所述电动伸缩杆(15)上方设有固定块(16)，所述固定块(16)的一端设有支撑板(17)，所述支撑板(17)一侧设有水枪(19)，所述支撑板(17)中间设有烘干机(18)，所述烘干机(18)下方设有烘干口(181)，所述箱体(21)内部设有供水箱(22)，所述供水箱(22)上方设有第一z形管(23)，所述箱体(21)内部设有排水箱(24)，所述排水箱(24)上方设有第二z形管(25)，所述排...
【专利技术属性】
技术研发人员：张宝安，
申请(专利权)人：苏州然玓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。