本发明专利技术涉及材料加工的技术领域，具体公开了一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置，包括超声波发生器、钻头和上位机，超声波发生器与一复合换能器通过超声波发生器中的变压线圈电连接，复合换能器下方与钻头盘可拆卸连接钻头盘下方固定有任意数量的钻头。超声波发生器中还设置有整流滤波器、斩波器和逆变器，整流滤波器与斩波器电连接，为斩波器提供稳压直流电，斩波器与逆变器电连接，斩波器通过斩波电路将稳压直流电保持在设定值，逆变器通过逆变电路将稳压直流电转化为交流电信号，逆变器将交流电信号输入变压线圈，上位机与斩波器和逆变器中的电路连接。实现了对待打孔工件同时钻多个孔，便于打孔装置在不同情况下进行调试。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料加工的，具体涉及一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置。
技术介绍
1、材料加工中常见的加工技术包括超声波加工、电火花加工和电解加工，超声波加工是一种加工精度和表面质量都优于电火花加工和电解加工的技术，更重要的是超声波加工可以加工其他技术难以加工的半导体和非金属的硬脆材料，如玻璃、陶瓷、石英、硅、玛瑙、宝石、金刚石等。
2、超声波目前主要应用在脆硬材料的圆孔、型孔、型腔、套料、微细孔等的加工，在半导体和集成电路元件、仪器仪表零件、电真空器件、光学零件、医疗器械等领域中有广泛的需求。
3、但是超声波加工具有显著的生产效率低的缺点，因为在现有技术中，一个超声打孔装置往往只会配备一个打孔钻头。以硅阴极为例，8寸先进制程上的硅阴极须要有直径0.635mm的3249个孔，使用现有的单钻头超声加工装置需要3-4天才能完成一个硅阴极的制作。由于超声加工的精度要求高，因此现有的超声加工装置难以简单的增加钻头数量，需要对装置整体的控制精度进行优化设计。
技术实现思路
>1、为解决现有技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置，包括超声波发生器、钻头(12)和上位机(9)，其特征在于，所述超声波发生器与一复合换能器通过所述超声波发生器中的变压线圈(4)电连接，所述复合换能器下方与钻头(12)盘(11)可拆卸连接所述钻头盘(11)下方固定有任意数量的钻头(12)；
2.根据权利要求1所述的一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置，其特征在于，所述复合换能器为夹心换能器和阶梯变幅杆(10)组成的十字型结构，所述阶梯变幅杆(10)为一均匀厚度的圆盘与一圆柱连接的T型结构，所述阶梯变幅杆(10)的圆盘在远离所述圆柱的另一侧与所述夹心换能器连接，构成整体为十字型的复合...
【技术特征摘要】
1.一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置，包括超声波发生器、钻头(12)和上位机(9)，其特征在于，所述超声波发生器与一复合换能器通过所述超声波发生器中的变压线圈(4)电连接，所述复合换能器下方与钻头(12)盘(11)可拆卸连接所述钻头盘(11)下方固定有任意数量的钻头(12)；
2.根据权利要求1所述的一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置，其特征在于，所述复合换能器为夹心换能器和阶梯变幅杆(10)组成的十字型结构，所述阶梯变幅杆(10)为一均匀厚度的圆盘与一圆柱连接的t型结构，所述阶梯变幅杆(10)的圆盘在远离所述圆柱的另一侧与所述夹心换能器连接，构成整体为十字型的复合换能器。
3.根据权利要求1所述的一种具有复合换能器的多钻头超声打孔装置，其特征在于，所述斩波电路由二极管和电容并联和开关管串联组成，所述斩波电路将所述稳压直流电保持在设定值的方法为：
4.根据权利要求1所述的一种具有复合换能器的多...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁红伟，陈晖，骆晓庆，
申请(专利权)人：上海亿鼎电子系统集成有限公司，
类型：发明
国别省市：
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