一种研磨液供应设备柜制造技术

本技术涉及一种研磨液供应设备柜，包括柜体，柜体内设置挡板，挡板在柜体内分隔形成分别用以原液桶、混配系统、电控模块容置的原液室、混配室和电控室，对应原液室、混配室和电控室分别设置第一柜门、第二柜门和第三柜门，第一柜门、第二柜门中的至少一个采用平移式柜门；原液室和电控室位于柜体同一侧，混配室位于柜体的另外一侧。本技术的研磨液供应设备柜将向外翻转打开的柜门更换为平移式柜门，一方面降低了柜门开启时对柜体外部空间的要求，另外一方面采用平移式柜门，在柜门开启时还可以避免柜体内存在负压时开启困难。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及研磨液供应，具体涉及一种研磨液供应设备柜。

技术介绍

1、化学机械研磨(cmp)作为芯片加工中的一道必不可少的工序，不仅在晶圆制备阶段采用，在晶圆加工工艺过程中也被用于晶圆表面整体平整化工艺。研磨液供应时通过研磨液供应设备柜实现，通常研磨液供应柜采用不锈钢制作骨架，骨架外侧安装pp板材，现有技术如公开号为cn219925709u的专利文献公开的研磨液供应设备，柜体内设置原液桶、混配系统、电控模块，原液桶、混配系统、电控模块分别放置在柜体的三个腔室空间内，每个腔室分别配置有柜门，柜门采用pp板(聚丙烯板)制作通过合页等铰链结构安装在柜体上，对应混配系统、原液桶的柜门相对较为宽敞，因此柜门也相对较大，柜门开启时对空间要求相对较大，而对于用户而言现场空间可能相对有限，现有的研磨液供应设备柜开启时不方便，且由于柜体内可能处于负压状态，增加了开启的难度。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种研磨液供应设备柜，采用平移式柜门，降低对柜体外部空间的要求的同时方便柜门开启。</p>

2、本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种研磨液供应设备柜，其特征在于，包括柜体，所述柜体内设置挡板，所述挡板在柜体内分隔形成分别用以原液桶、混配系统、电控模块容置的原液室、混配室和电控室，对应原液室、混配室和电控室分别设置第一柜门、第二柜门和第三柜门，所述第一柜门、第二柜门中的至少一个采用平移式柜门；所述原液室和电控室位于柜体同一侧，所述混配室位于柜体的另外一侧。

2.根据权利要求1所述的一种研磨液供应设备柜，其特征在于，柜体对应平移式柜门设置门洞，所述平移式柜门包括设置在柜体内并沿门洞上下位置分布的轨道、安装在上下分布的轨道之间的门板，所述轨道具有两个平行设置的导向槽，每个所述导向槽内分别安装有一块门板，...

【技术特征摘要】

1.一种研磨液供应设备柜，其特征在于，包括柜体，所述柜体内设置挡板，所述挡板在柜体内分隔形成分别用以原液桶、混配系统、电控模块容置的原液室、混配室和电控室，对应原液室、混配室和电控室分别设置第一柜门、第二柜门和第三柜门，所述第一柜门、第二柜门中的至少一个采用平移式柜门；所述原液室和电控室位于柜体同一侧，所述混配室位于柜体的另外一侧。

2.根据权利要求1所述的一种研磨液供应设备柜，其特征在于，柜体对应平移式柜门设置门洞，所述平移式柜门包括设置在柜体内并沿门洞上下位置分布的轨道、安装在上下分布的轨道之间的门板，所述轨道具有两个平行设置的导向槽，每个所述导向槽内分别安装有一块门板，所述门板的上下两端分别插入轨道的导向槽内。

3.根据权利要求2所述的一种研磨液供应设备柜，其特征在于，所述门板包括中间段和设置在中间段上下两端的滑动端头，所述中间段的厚度大于导向槽的宽度，所述滑动端头配合插入导向槽内。

4.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴红俭，骆晓庆，
申请(专利权)人：上海亿鼎电子系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：