激光泵浦光源和用于激光点火等离子体的方法技术

在具有充气室(1)的激光泵浦等离子体光源(100)中，用于等离子体点火的装置是固态激光器系统(7)，其产生聚焦到室(1)中的两个脉冲激光束(8、9)：第一光束(8)以自由运行模式产生，第二光束(9)以Q开关模式产生。固态激光器系统(7)包含单个有源元件(10)、用于泵浦有源元件(10)的辐射源(11)和提供激光束通过有源元件(10)的多个通道的光学谐振器(12、13)。一个光学谐振器(13)配备有安装在第二光束(9)的路径上的Q开关(14)，使得Q开关仅与激光束的横截面的一部分(15b)重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及具有连续光学放电(cod)的宽带光源，以及启动由连续激光辐射维持的等离子体点火的方法。

技术介绍

1、与创建高亮度基于cod的光源相关的挑战之一涉及cod的可靠启动点火。

2、例如，从2016年6月14日公布的专利us9368337中可知，在激光泵浦等离子体光源中，位于透明室轴线上的两个针电极用于启动等离子体点火，在这两个针电极之间会产生短时间的电弧放电。cw激光束聚焦在腔中心两个电极之间的间隙中。光源的特点是高亮度和易于使用。后者主要是由于含有气体，特别是高压xe(10atm或更高，即1mpa或更高)的具有两个电极的石英室或灯泡是市售产品。

3、然而，位于高温等离子体区域附近的相对较冷的电极会对室内的对流气流产生扰动，从而削弱激光泵浦等离子体光源的空间和能量稳定性。此外，辐射等离子体区域附近存在的电极的特征在于限制等离子体辐射出射的“死”空间角度。此外，电极材料溅射可能导致灯泡壁的透明度降低，并相应地导致光源随着时间的推移而退化。

4、2016年5月31日公布的专利us9357627中的高亮度宽带光源在很本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光泵浦等离子体光源(100)，包括：充气室(1)，所述充气室(1)的至少一部分是光学透明的；辐射等离子体的区域(2)，其由连续波激光器(4)的聚焦光束(3)维持在所述室中，所述连续波激光器(4)在下文中被称为CW激光器；以及用于等离子体点火的装置，所述激光泵浦等离子体光源(100)的特征在于

2.根据权利要求1所述的光源(100)，其中所述Q开关(14)是由掺铬钇铝石榴石晶体Cr4+：YAG制成的可饱和吸收体。

3.根据权利要求1或2所述的光源(100)，其中所述Q开关(14)与腔内激光束(15)横截面的一小部分(15b)重叠，不超过其面积的30％。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种激光泵浦等离子体光源(100)，包括：充气室(1)，所述充气室(1)的至少一部分是光学透明的；辐射等离子体的区域(2)，其由连续波激光器(4)的聚焦光束(3)维持在所述室中，所述连续波激光器(4)在下文中被称为cw激光器；以及用于等离子体点火的装置，所述激光泵浦等离子体光源(100)的特征在于

2.根据权利要求1所述的光源(100)，其中所述q开关(14)是由掺铬钇铝石榴石晶体cr4+：yag制成的可饱和吸收体。

3.根据权利要求1或2所述的光源(100)，其中所述q开关(14)与腔内激光束(15)横截面的一小部分(15b)重叠，不超过其面积的30％。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光源(100)，其中所述脉冲激光束(8、9)和所述cw激光器(4)的光束(17)通过聚焦光学元件(16)聚焦到所述室中，并且cw激光器(4)的指向所述聚焦光学元件(16)的光束(17)不与指向所述聚焦光学元件(16)的脉冲激光束(8、9)相交。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光源(100)，其中偏转镜(18)安装在所述脉冲激光束(8、9)路径之外的cw激光器(4)的光束(17)的路径上。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的光源(100)，其中偏转镜(18)安装在cw激光器(4)的光束通过路径之外的脉冲激光束(8、9)的通过路径上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的光源(100)，其中足以点火和维持辐射等离子体的cw激光器(4)的输出功率不超过30瓦。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的光源(100)...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·B·艾布拉姆斯，R·R·加亚索夫，D·A·格卢什科夫，Y·B·基鲁辛，V·M·克里夫松，A·A·拉施，
申请(专利权)人：伊斯泰克私人有限公司，
类型：发明
国别省市：