晶体生长装置制造方法及图纸

技术编号:41503043 阅读:18 留言:0更新日期:2024-05-30 14:44
本申请公开了一种晶体生长装置,涉及晶体生长技术领域。晶体生长装置包括炉体、支撑组件、升降驱动机构和冷却环。炉体形成炉腔,炉体的内侧设置有加热组件。支撑组件包括载物台与支撑轴,载物台位于炉腔内,用于放置坩埚。升降驱动机构用于驱动炉体和/或支撑组件,以使炉体相对于支撑组件升降。冷却环设置于炉腔内,冷却环内部形成供冷媒流动的冷却通道,冷却环通过第一管路和第二管路与炉体的外部连通。本申请的晶体生长装置,通过冷却环能够有效地对炉腔内温度场进行控制,为晶体生长提供合适的温度梯度,保证晶体生长质量。因此,本申请提供的晶体生长装置有利于制备大尺寸晶体。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶体生长,具体而言,涉及一种晶体生长装置


技术介绍

1、下降法单晶生长装置在制备大尺寸晶体过程中,需要在装置内形成具有一定温度梯度的温度场,然后将盛装有原料熔体的坩埚缓慢下降,由高温区域向低温区域移动,实现结晶。结晶的温度梯度与结晶质量息息相关,如果温度梯度不合适或出现生长加速度的现象,晶体容易出现包裹体过多、排杂不好等现象。然而,现有的晶体生长装置对温度梯度的控制效果较差,导致晶体生长质量不佳,制备大尺寸晶体难度较高。

2、鉴于此,特提出本申请。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种晶体生长装置,其能够有效地控制晶体生长的温度梯度,提高晶体生长质量,有利于制备大尺寸晶体。

2、本申请的实施例是这样实现的:

3、本申请提供一种晶体生长装置,包括:

4、炉体,炉体形成炉腔,炉体的内侧设置有加热组件;

5、支撑组件,包括载物台与支撑轴,载物台位于炉腔内,用于放置坩埚,支撑轴的一端连接于载物台底部,另一端从炉体的下端伸出炉腔;

...

【技术保护点】

1.一种晶体生长装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长装置包括冷源,所述冷源连接于所述第一管路。

3.根据权利要求2所述的晶体生长装置,其特征在于,所述冷源通过所述第一管路、所述第二管路与所述冷却环形成冷却回路。

4.根据权利要求3所述的晶体生长装置,其特征在于,所述冷媒为水,所述冷源包括冷水机。

5.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述加热组件包括第一加热组件和第二加热组件,所述第一加热组件间隔地设置于所述第二加热组件上方,所述冷却环设置于所述第一加热组件和所述第二加热组件之...

【技术特征摘要】

1.一种晶体生长装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长装置包括冷源,所述冷源连接于所述第一管路。

3.根据权利要求2所述的晶体生长装置,其特征在于,所述冷源通过所述第一管路、所述第二管路与所述冷却环形成冷却回路。

4.根据权利要求3所述的晶体生长装置,其特征在于,所述冷媒为水,所述冷源包括冷水机。

5.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述加热组件包括第一加热组件和第二加热组件,所述第一加热组件间隔地设置于所述第二加热组件上方,所述冷却环设置于所述第一加热组件和所述第二加热组件之间。

6.根据权利要求5所述的晶体生长装置,其特征在于,所述炉体内设置有第一保温件,所述第一保温件凸设于所述炉腔的内壁,并沿所述炉腔的周向延伸而形成环状,所述第一保温件的中部形成供所述载物台和所述支撑轴穿过的通孔,所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭杰张彬镜蔡杰毅何少东龚应双冯添富林海青庄击勇郑燕青
申请(专利权)人:厦门钨业股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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