一种用于TEM检测的载网支持膜之制备装置制造方法及图纸

一种用于TEM检测的载网支持膜之制备装置，包括：壳体，围闭形成各功能部件的容置空间；样品仓，具有样品仓盖和样品容置仓，样品容置仓内具有载样平台，并在样品容置仓内设置板状电极；透射电镜样品杆，具有样品杆和凸出于样品仓的手持杆；出气口，设置在样品仓上，并根据真空度值调控出气口开合；进气口，设置在样品仓上，并在真空度值达到预设值时通入氩气。所述制备装置制备的载网支持膜为具有亲水性的碳支持膜。本发明专利技术不仅改善碳支持膜表面性能，使得碳支持膜表面由疏水性变为亲水性，悬浮在水或乙醇中的样品能够更好的在膜表面分散，改善团聚现象，为获得高质量透射电镜图片打下坚实基础，而且方法操作简单，值得业界推广使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及透射电子显微镜(tem)检测，尤其涉及一种用于tem检测的载网支持膜、制备装置及制备方法。

技术介绍

1、透射电子显微镜(transmission electron microscope，tem)简称透射电镜，是以波长极短的电子束作为光源，用电子透镜聚焦成像的一种高分辨率，高放大倍数的电子光学仪器。其工作原理是，电子枪产生的电子束经1～2级聚光镜汇聚后均匀照射到试样上的某一待观察微小区域内，由于样品通常较薄，绝大多数的电子穿透试样，其强度分布与观察试样区的形貌，组织，结构一一对应。透射出的电子经过放大后投射于荧光屏上，显示出与试样形貌、组织、结构相对应的图像。

2、由于电子的德布罗意波长非常短，透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高很多，可以达到0.1～0.2nm，放大倍数为几万到上百万倍。因此，使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构，甚至可以用来观察一列原子的结构。tem在物理学和生物毒理学相关的许多科学领域都是非常重要的分析手段。

3、由于透射电镜样品都非常薄，一般会用载网支持膜来负载样品。单独使用载网，也称“本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于TEM检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，所述用于TEM检测的载网支持膜之制备装置，包括：

2.如权利要求1所述用于TEM检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，开启气泵开关，将样品容置仓进行抽真空作业。

3.如权利要求2所述用于TEM检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，当气压表显示屏显示真空度为0.25～0.35mbar时，开启进气开关，并向所述样品仓内通入氩气，维持样品仓内真空度为0.25～0.35mbar。

4.如权利要求3所述用于TEM检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，关闭气泵开关和进气开关，控制电压调节旋钮和时间调节...

【技术特征摘要】

1.一种用于tem检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，所述用于tem检测的载网支持膜之制备装置，包括：

2.如权利要求1所述用于tem检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，开启气泵开关，将样品容置仓进行抽真空作业。

3.如权利要求2所述用于tem检测的载网支持膜之制备装置，其特征在于，当气压表显示屏显示真空度为0.25～0.35mbar时，开启进气开关，并向所述样品仓内通入氩气，维持样品仓...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成鑫，黎刚，张庆华，李英明，裴志国，杨瑞强，谭志强，
申请(专利权)人：中国科学院生态环境研究中心，
类型：发明
国别省市：