【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扫描电镜结构，具体为一种手动光学调节装置。
技术介绍
1、扫描电镜是半导体检测设备中的关键精密组件，由多层mems芯片组成。层与层之间需要在六个自由度中精确对准，这就需要镜框具有六自由度调节功能。mems镜组现有调节方案比较粗糙，采用垫片，小锤等工具进行手动调节，调节完成后还须对芯片位置进行锁定。该方案调节难度大，精度不理想，且在进行位置锁定时，会反过来影响调节精度，从而使调节-锁定过程反复进行，使整个芯片对准效率大大降低。
2、业界中可进行六自由度调节的方案有很多，但是扫描电镜应用环境十分苛刻，这就对其芯片镜框提出了很高的要求。镜框须在真空无磁的环境下稳定运行，同时在电子光学的要求下，整体结构须限制在5mm的高度空间内。上述要求使得业界中多数调节方案不得已采纳，故目前仍然在使用较为原始的小锤垫片的方式进行调节，这种方式的调节，无法方便快捷精准的对芯片姿态进行调节，并且位置锁定的过程对前置的姿态调节精度也会产生影响。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种手动光学...
【技术保护点】
1.一种手动光学调节装置，其特征在于：包括镜框(1)、水平顶丝(2)、垂向顶丝(3)和芯片基板(4)，所述镜框(1)中间开设有贯通的安装槽(103)，所述安装槽(103)的内侧壁上设置有多个凸台(104)，所述芯片基板(4)设置在安装槽(103)的凸台(104)上，所述镜框(1)侧边靠近拐角的位置均匀开设有多个水平的连接槽(101)，每个所述连接槽(101)端部均开设有贯通安装槽(103)的第一螺孔(1011)，并且所述镜框(1)表面靠近上下两侧的位置对称开设有垂向的第二螺孔(102)，第一螺孔(1011)中螺纹连接有水平顶丝(2)，水平顶丝(2)端部设置有半球头，半...
【技术特征摘要】
1.一种手动光学调节装置，其特征在于：包括镜框(1)、水平顶丝(2)、垂向顶丝(3)和芯片基板(4)，所述镜框(1)中间开设有贯通的安装槽(103)，所述安装槽(103)的内侧壁上设置有多个凸台(104)，所述芯片基板(4)设置在安装槽(103)的凸台(104)上，所述镜框(1)侧边靠近拐角的位置均匀开设有多个水平的连接槽(101)，每个所述连接槽(101)端部均开设有贯通安装槽(103)的第一螺孔(1011)，并且所述镜框(1)表面靠近上下两侧的位置对称开设有垂向的第二螺孔(102)，第一螺孔(1011)中螺纹连接有水平顶丝(2)，水平顶丝(2)端部设置有半球头，半球头抵在芯片基板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘康，石锦钰，翟鹏，
申请(专利权)人：上海大尘微影半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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