一种小口径熔石英强激光整形元件加工方法技术

本发明专利技术公开了一种小口径熔石英强激光整形元件加工方法，包括以下步骤：S1、对小口径熔石英强激光整形元件进行超精密磨削；S2、对小口径熔石英强激光整形元件进行面形测量，为下一步的抛光修形提供指导；S3、对小口径熔石英强激光整形元件进行抛光修形；S4、对小口径熔石英强激光整形元件的面形精度和表面粗糙度进行测量，如测量结果满足要求，则完成加工，如测量结果不满足要求，则返回步骤S3。本发明专利技术采用超精密磨削和抛光修形配合的加工方式，可以实现高精度小口径非球面光学元件的加工制作。本发明专利技术工艺流程简单，可操作性强，省去了研磨工艺，可以减轻后续工艺的任务量，有效缩短小口径熔石英强激光整形元件加工周期。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超精密加工方法领域，尤其涉及一种小口径熔石英强激光整形元件加工方法。

技术介绍

1、随着科学技术的日益进步，非球面光学元件被广泛应用于各个领域，如航空航天、医学检测等。同时，这些光学元件也在朝着精度更高、尺寸更小的方向发展。而使用传统的研磨、抛光加工方法，不仅面形精度不易保证，而且生产效率低。随着加工技术的发展，目前为止已出现了多种非球面光学元件加工技术，例如超精密车削、超精密磨削和磁流变抛光技术等。

2、熔融石英玻璃具有透光性好、耐高温和抗激光损伤能力强的特点，被广泛应用于高功率激光领域，但石英玻璃也同时具有高硬度、高脆性的特点，属于典型的硬脆难加工材料。使用超精密车削技术进行加工，存在着刀具磨损严重、工件表面残留刀痕等问题；超精密磨削适合加工硬脆难加工材料，但石英玻璃经过磨削之后，表面粗糙度仍然较高；磁流变抛光具有加工精度高，亚表面损伤小的特点，但由于受到抛光轮尺寸的限制，磁流变抛光通常适用于加工大口径的光学元件。

3、因此，如何能高效率的获得高精度的表面质量及形状精度的小口径非球面光学零件成为急需解决的问题。...

【技术保护点】

1.一种小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：步骤S1采用工件自旋转磨削方式。

3.根据权利要求1所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：步骤S1包括粗磨和超精密精磨，其中，

4.根据权利要求3所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：粗磨时砂轮进给速度为0.8mm/s，超精密精磨时砂轮进给速度为0.6mm/s。

5.根据权利要求1所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：步骤S3采用聚氨酯材质的抛光头，并...

【技术特征摘要】

1.一种小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：步骤s1采用工件自旋转磨削方式。

3.根据权利要求1所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：步骤s1包括粗磨和超精密精磨，其中，

4.根据权利要求3所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在于：粗磨时砂轮进给速度为0.8mm/s，超精密精磨时砂轮进给速度为0.6mm/s。

5.根据权利要求1所述的小口径熔石英强激光整形元件加工方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊玉朋，黄铖，戴一帆，欧洋，关朝亮，赖涛，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：