太阳能电池及其制备方法技术

技术编号:41455190 阅读:19 留言:0更新日期:2024-05-28 20:42
本发明专利技术涉及一种太阳能电池及其制备方法。太阳能电池包括衬底、第一隧穿层、第一掺杂多晶硅层、第二掺杂多晶硅层以及第一电极。第一隧穿层设置在衬底上。第一掺杂多晶硅层设置在第一隧穿层上。第一掺杂多晶硅层通过PECVD工艺形成。第二掺杂多晶硅层设置在第一掺杂多晶硅层上。第二掺杂多晶硅层的掺杂浓度高于第一掺杂多晶硅层的掺杂浓度。第一电极设置在第二掺杂多晶硅层上。上述太阳能电池使掺杂多晶硅层与电极浆料形成良好的欧姆接触的同时,大幅降低电流复合密度,提升转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏,特别是涉及一种太阳能电池及其制备方法


技术介绍

1、隧穿层钝化接触电池(topcon电池)通过在背面形成由隧穿层和掺杂多晶硅层构成的钝化接触结构,能够显著降低电子与空穴的复合,显著提升电池的开路电压与电流密度。目前,topcon电池蓝膜片整体电流复合密度(j0)约为10fa/cm2,其限制了电池的最高开压(ivoc),如何进一步降低j0从而提升电池电性能是一个亟待解决的问题。


技术实现思路

1、基于此,有必要提供一种太阳能电池及其制备方法,以降低太阳能电池电流复合密度j0。

2、本专利技术的其中一个目的是提供一种太阳能电池,方案如下:

3、一种太阳能电池,包括:

4、衬底;

5、第一隧穿层,设置在所述衬底上;

6、第一掺杂多晶硅层,设置在所述第一隧穿层上,所述第一掺杂多晶硅层通过pecvd(等离子体增强化学气相沉积)工艺形成;

7、第二掺杂多晶硅层,设置在所述第一掺杂多晶硅层的局部区域上,所述第二掺杂多晶硅层的掺杂浓本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层设置在所述第一掺杂多晶硅层的局部区域上。

3.如权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层与所述第一电极的宽度之比为(1.3~2)∶1。

4.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池符合以下特征(1)~(2)中的一项或者多项:

5.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层是先通过LPCVD工艺形成非晶硅层,再通过对所述非晶硅层进行热扩散掺杂工艺形成。

>6.如权利要求1所...

【技术特征摘要】

1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层设置在所述第一掺杂多晶硅层的局部区域上。

3.如权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层与所述第一电极的宽度之比为(1.3~2)∶1。

4.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池符合以下特征(1)~(2)中的一项或者多项:

5.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层是先通过lpcvd工艺形成非晶硅层,再通过对所述非晶硅层进行热扩散掺杂工艺形成。

6.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池符合以下特征(1)~(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩秉伦陈达明杨广涛王子港
申请(专利权)人:天合光能股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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