【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏,特别是涉及一种太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
1、隧穿层钝化接触电池(topcon电池)通过在背面形成由隧穿层和掺杂多晶硅层构成的钝化接触结构,能够显著降低电子与空穴的复合,显著提升电池的开路电压与电流密度。目前,topcon电池蓝膜片整体电流复合密度(j0)约为10fa/cm2,其限制了电池的最高开压(ivoc),如何进一步降低j0从而提升电池电性能是一个亟待解决的问题。
技术实现思路
1、基于此,有必要提供一种太阳能电池及其制备方法,以降低太阳能电池电流复合密度j0。
2、本专利技术的其中一个目的是提供一种太阳能电池,方案如下:
3、一种太阳能电池,包括:
4、衬底;
5、第一隧穿层,设置在所述衬底上;
6、第一掺杂多晶硅层,设置在所述第一隧穿层上,所述第一掺杂多晶硅层通过pecvd(等离子体增强化学气相沉积)工艺形成;
7、第二掺杂多晶硅层,设置在所述第一掺杂多晶硅层的局部区域上,所述第二
...【技术保护点】
1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层设置在所述第一掺杂多晶硅层的局部区域上。
3.如权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层与所述第一电极的宽度之比为(1.3~2)∶1。
4.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池符合以下特征(1)~(2)中的一项或者多项:
5.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层是先通过LPCVD工艺形成非晶硅层,再通过对所述非晶硅层进行热扩散掺杂工艺形成。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层设置在所述第一掺杂多晶硅层的局部区域上。
3.如权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层与所述第一电极的宽度之比为(1.3~2)∶1。
4.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池符合以下特征(1)~(2)中的一项或者多项:
5.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述第二掺杂多晶硅层是先通过lpcvd工艺形成非晶硅层,再通过对所述非晶硅层进行热扩散掺杂工艺形成。
6.如权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池符合以下特征(1)~(5)...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩秉伦,陈达明,杨广涛,王子港,
申请(专利权)人:天合光能股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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