阳极液冷型X射线管及X射线源制造技术

本发明专利技术涉及X射线管技术领域，提供一种阳极液冷型X射线管及X射线源，包括：管壳；阴极组件，阴极组件设于管腔中；阳极组件，阳极组件包括阳极端封帽、阳极头以及阳极靶；液冷系统，液冷系统包括液冷罩、冷却进液流道、冷却出液流道、测温装置以及窗口密封法兰，冷却进液流道和冷却出液流道均连通于液冷罩的罩腔，冷却进液流道的出液端悬空设置于液冷盲孔内，液冷罩的内表面、窗口密封法兰的外表面、端封帽本体的外表面共同限定形成用于容纳冷却介质的液冷腔。本发明专利技术能够使X射线光学器件最大程度地收集阳极靶所产生的X射线并进行聚焦，并且能够更加全方位地对阳极组件进行散热，有效避免阳极靶的焦点空间位置发生漂移。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及x射线管，特别是涉及一种阳极液冷型x射线管及x射线源。

技术介绍

1、目前，具有微聚焦光学器件的x射线管、x射线源已经被应用于微区x射线荧光分析仪（microxrf）、高性能x射线衍射仪（xrd）以及x射线吸收谱仪（xafs）等高端x射线科学仪器，被应用于材料、生物、化学、环境、地质以及考古等科学领域，被应用于半导体、新能源、电子设备、物质微区微量痕量分析（尤其是薄膜和司法鉴定）、物相定性和定量分析、应力和织构分析以及应变和微晶尺寸分析等新

2、此类高端x射线科学仪器对x射线管、x射线源的高亮度、微焦斑、高通量以及稳定性具有较高要求，故需采用光学器件对x射线管、x射线源所产生的x射线进行聚焦并提高亮度。不同于传统的工业与医疗用x射线管和x射线源，此类x射线管和x射线源对焦点空间位置的稳定性有很高的要求，焦点空间位置的波动通常要求在±1μm以内。

3、然而，x射线管在工作时，由于超过99%的输入能量都转换为热量，导致x射线管的阳极温度上升；又由于热胀冷缩的原因，使得焦点位置发生波动，导致x射线在光学器件聚焦后光本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种阳极液冷型X射线管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的阳极液冷型X射线管，其特征在于：所述阳极头（22）包括腔体部（222）以及翻边部（223），腔体部（222）内形成所述液冷盲孔（221），腔体部（222）设于通孔（212）远离管壳（1）的部位，翻边部（223）密封设置于端封帽本体（211）的端部；所述冷却进液流道（32）直线延伸并且密封穿设于液冷罩（31），冷却进液流道（32）的出液端和液冷盲孔（221）的底部存在预设间隙。

3.根据权利要求1所述的阳极液冷型X射线管，其特征在于：所述冷却出液流道（33）密封穿设于液冷罩（31），冷却出液流道...

【技术特征摘要】

1.一种阳极液冷型x射线管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的阳极液冷型x射线管，其特征在于：所述阳极头（22）包括腔体部（222）以及翻边部（223），腔体部（222）内形成所述液冷盲孔（221），腔体部（222）设于通孔（212）远离管壳（1）的部位，翻边部（223）密封设置于端封帽本体（211）的端部；所述冷却进液流道（32）直线延伸并且密封穿设于液冷罩（31），冷却进液流道（32）的出液端和液冷盲孔（221）的底部存在预设间隙。

3.根据权利要求1所述的阳极液冷型x射线管，其特征在于：所述冷却出液流道（33）密封穿设于液冷罩（31），冷却出液流道（33）位于液冷罩（31）靠近管壳（1）的一侧。

4.根据权利要求1所述的阳极液冷型x射线管，其特征在于：所述x射线光学器件（4）呈长管状，x射线光学器件（4）的x射线射入端位于窗口密封法兰（35）的法兰中心孔（351）内。

5.根据权利要求1所述的阳极液冷型x射线管，其特征在于：所述端封帽本体（211）包括中间法兰部（211a）、设于中间法兰部（211a）一侧的端封帽主体部（211b）以及设于中间法兰部（211a）另一侧的环体部（211c），中间法兰部（211a）密接所述液冷罩（31）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：阳恩会，曹昌伟，郭宗艳，唐志宏，
申请(专利权)人：上海超群检测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：