一种栅极分组调控发射体的场发射X射线管制造技术

技术编号:43840121 阅读:36 留言:0更新日期:2024-12-31 18:36
本发明专利技术提供一种栅极分组调控发射体的场发射X射线管,包括真空维持组件、阴极组件、阳极组件和视窗组件,阴极组件包括发射体基座、调控栅极和聚焦电极,发射体基座上设有数个用于发射电子束且呈阵列排布的电子发射体,调控栅极沿电子束的发射方向设在发射体基座的一侧,调控栅极中开设有数个与电子发射体一一对应、并允许电子束通过的电子束通孔,数个电子束通孔被划分为数组调控组,同一组调控组中的电子束通孔电连接,不同组调控组中的电子束通孔绝缘设置,数组调控组之间独立调控。本申请通过调控栅极实现对数个电子发射体的调控,增加调控灵活性,也使得场发射X射线管的总寿命为所有发射子系统的寿命之和,延长总使用寿命,降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及x射线管,具体是涉及科学仪器领域使用的场发射x射线管,尤其是涉及一种栅极分组调控发射体的场发射x射线管。


技术介绍

1、在航空航天、医疗、新能源、增材制造和电子制造等多个关键领域,x射线管正扮演着日益重要的角色。作为检测设备中的核心组件,x射线管的质量直接关系到整个检测设备性能的高低。为了满足多样化的应用需求,迫切需要开发具有不同功能的x射线管。

2、电子源作为x射线管的核心部件,它的性能直接影响x射线的产生效率和质量。现有的x射线管电子源分为热发射电子源和场发射电子源。其中,热发射电子源有着较为普遍的应用,但是热发射电子源仍有一些不足。例如:1、热发射电子源需要将阴极加热到高温才能实现稳定发射,这就需要准确的温度控制来保证发射体正常工作,同时这使得电子枪启动存在预热时间;2、热发射电子源的温度控制存在迟滞,这就难以快速响应,导致x射线的强度无法快速调节。热发射电子源的这些缺点将限制它的应用;比如医疗中计算机断层扫描(ct),对器官的运动进行拍摄,如血管的搏动和心脏跳动,如果x射线无法迅速关断,关断频率低于运动频率,将产生运动伪影本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种栅极分组调控发射体的场发射X射线管,包括真空维持组件(10)、阴极组件(20)、阳极组件(30)、以及视窗组件(40),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的栅极分组调控发射体的场发射X射线管,其特征在于:所述调控栅极(23)在同一组调控组(232)中的电子束通孔(231)之间铺排有导电排(233),同一组所述调控组(232)中的电子束通孔(231)通过该调控组(232)的导电排(233)电连接,不同组所述调控组(232)的导电排(233)之间绝缘。

3.根据权利要求2所述的栅极分组调控发射体的场发射X射线管,其特征在于:所述调控栅极(23)包括绝缘基体(...

【技术特征摘要】

1.一种栅极分组调控发射体的场发射x射线管,包括真空维持组件(10)、阴极组件(20)、阳极组件(30)、以及视窗组件(40),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:所述调控栅极(23)在同一组调控组(232)中的电子束通孔(231)之间铺排有导电排(233),同一组所述调控组(232)中的电子束通孔(231)通过该调控组(232)的导电排(233)电连接,不同组所述调控组(232)的导电排(233)之间绝缘。

3.根据权利要求2所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:所述调控栅极(23)包括绝缘基体(234),所述电子束通孔(231)贯通绝缘基体(234),所述导电排(233)铺设在绝缘基体(234)上。

4.根据权利要求2所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:所述调控栅极(23)为多层结构,所述调控栅极(23)包括依次叠设的绝缘层、导电层和屏蔽层,所述电子束通孔(231)贯通绝缘层、导电层和屏蔽层,所述导电层构成导电排(233)。

5.根据权利要求2所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:所述调控栅极(23)为3d打印件。

6.根据权利要求2所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:还包括密封固设在所述外壳(11)另一端的真空馈通件(50)、以及数个栅极接线柱(26),所述真空馈通件(50)具有数个第一接线端子(51),所述调控栅极(23)中每组调控组(232)的导电排(233)上都引出有连接电极(235),数个所述连接电极(235)通过数个栅极接线柱(26)与真空馈通件(50)的数个第一接线端子(51)一一对应电连接。

7.根据权利要求1或2所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:所述电子束通孔(231)沿电子束的发射方向正对电子发射体(25)的中心。

8.根据权利要求1所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:数个所述电子发射体(25)和数个所述电子束通孔(231)都呈矩形阵列排布;当单组所述调控组(232)具有数个电子束通孔(231)时,同一组所述调控组(232)中相邻两个电子束通孔(231)的中心距为0.15~0.25mm。

9.根据权利要求1所述的栅极分组调控发射体的场发射x射线管,其特征在于:还包括密封固设在所述外壳(11)另一端的真空馈通件(50),所...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐志宏梁宇阳恩会李振军
申请(专利权)人:上海超群检测科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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