【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于环保，具体涉及一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置。
技术介绍
1、近年来工业生产过程中的有害气体的排放量不断增大，其带来的环境问题也日渐凸显。我国电子工业等小气量废气排放呈现出组分较为复杂、行业分布较广、区域性及过程性都较强的特征。目前，在有害气体排放控制方面的相关处理技术主要有催化燃烧技术、热分解技术、炭吸附技术、过滤技术等。现有技术中，对于电子工业尾气中的硅烷气、磷烷、三甲基铝（tma）等有害组分通常采用高温热分解技术进行净化脱除。但对于温度低、烟气量小、有害成分含量高的电子工业尾气而言，采用常规热分解吸收技术效率较低，细颗粒物捕集难度大。为此，本技术公开了一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，通过等离子弧炬旋流耦合强化作用实现尾气中的有害气体组分充分转化分解，并进行细颗粒物的高效协同净化处理。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的就是为了实现高浓度硅烷气、磷烷、tma等有害气体的高效转化分解脱除而提供一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，用...
【技术保护点】
1.一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，包括等离子弧炬发生单元（7）、尾气进气单元（8）、高温热分解单元（9）、洗涤降温单元（10）、循环水槽（1）、喷淋吸收单元（3）、旋转导流强化单元（4）、湿电除尘除雾单元（5）和净化尾气出口（6）；
2.根据权利要求1所述的一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，所述的尾气进气单元（8）由4-10根尾气管汇合而成，每根尾气管布置有压力传感监测和氮气吹扫，再汇集后的总管进入装置处设置有膨胀节。
3.根据权利要求1所述的一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，所述的等离...
【技术特征摘要】
1.一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，包括等离子弧炬发生单元（7）、尾气进气单元（8）、高温热分解单元（9）、洗涤降温单元（10）、循环水槽（1）、喷淋吸收单元（3）、旋转导流强化单元（4）、湿电除尘除雾单元（5）和净化尾气出口（6）；
2.根据权利要求1所述的一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，所述的尾气进气单元（8）由4-10根尾气管汇合而成，每根尾气管布置有压力传感监测和氮气吹扫，再汇集后的总管进入装置处设置有膨胀节。
3.根据权利要求1所述的一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，所述的等离子弧炬发生单元（7）的发生电源输出电压为200-400v，电流为50-150 a，运行功率为15-35 kw。
4.根据权利要求1所述的一种等离子弧炬旋流耦合强化尾气吸收装置，其特征在于，所述的高温热分解单元（9）的反应腔的腔体有冷却水保护。
5.根据权利要求1所述的一种等...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆慧锋，田伟伟，俞言文，林嘉辉，易力，
申请(专利权)人：浙江沃乐科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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