一种硅片快速检测分选装置制造方法及图纸

本技术公开了一种硅片快速检测分选装置，包括装置主体，装置主体的底端安装有底板，底板的一侧安装有一组控制器，底板的顶端安装有两组安装板，两组安装板的一侧安装有一组扭矩传感器，扭矩传感器的一侧转动安装有一组转动杆，转动杆上套接安装有一组扭簧，转动杆上固定安装有一组连接杆；通过设置的第一输送设备能够带动硅片进行输送移动，在其移动到合适的位置之后，在经过扭矩传感器和测距仪的双重检测下，能够对其是否合格作出判断，之后电机工作能够带动导向板进行转动，从而能够将厚度合格和不合格的硅片进行快速的分选，在使用的过程中不需要人工，因而节约的人力，提高了其检测分选的效率，使用更加的自动化。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片分选，具体来说，涉及一种硅片快速检测分选装置。

技术介绍

1、元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，硅片的分选分两大部份：外观检查(即崩边、缺角、花片、破片类的目视)；仪器检测(电阻检测、ttv检测及厚度检测)。

2、对硅片的厚度进行检测分选时，现有技术一般是采用手动测量的方式，效率较低，一些技术方案则是使用一些电子测量的手段，但在使用的过程中需要人工的来对硅片进行摆放和分选，难以实现检测和分选的自动化，因而导致其的检测分选效率仍旧较低。

3、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

4、因此为了解决以上问题，本技术提供了一种硅片快速检测分选装置。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种硅片快速检测分选装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片快速检测分选装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片快速检测分选装置，其特征在于，包括装置主体(1)，所述装置主体(1)的底端安装有底板(2)，所述底板(2)的一侧安装有一组控制器(3)，所述底板(2)的顶端安装有两组安装板(4)，两组所述安装板(4)的一侧安装有一组扭矩传感器(402)，所述扭矩传感器(402)的一侧转动安装有一组转动杆(403)，所述转动杆(403)上套接安装有一组扭簧(404)，所述转动杆(403)上固定安装有一组连接杆(405)，所述连接杆(405)的底端安装有一组伸缩杆(406)，所述伸缩杆(406)上螺纹安装有一组紧固螺栓(407)，所述伸缩杆(406)的伸缩端安装有一组连接板(408)，所述连接板...

【技术特征摘要】

1.一种硅片快速检测分选装置，其特征在于，包括装置主体(1)，所述装置主体(1)的底端安装有底板(2)，所述底板(2)的一侧安装有一组控制器(3)，所述底板(2)的顶端安装有两组安装板(4)，两组所述安装板(4)的一侧安装有一组扭矩传感器(402)，所述扭矩传感器(402)的一侧转动安装有一组转动杆(403)，所述转动杆(403)上套接安装有一组扭簧(404)，所述转动杆(403)上固定安装有一组连接杆(405)，所述连接杆(405)的底端安装有一组伸缩杆(406)，所述伸缩杆(406)上螺纹安装有一组紧固螺栓(407)，所述伸缩杆(406)的伸缩端安装有一组连接板(408)，所述连接板(408)的底端中部安装有一组测距仪(409)，所述连接板(408)的底端一侧安装有一组滚轮(410)，其中一组所述安装板(4)的一侧安装有一组第一到位传感器(411)，所述底板(2)的顶端安装有一组第一输送设备(5)，所述第一输送设备(5)的顶端安装有两组固定板(7)，其中一组所述固定板(7)的一侧安装有一组电机(701)，所述电机(701)的输出端固定套接有一组导向板(702)，其中一组所述固定板(7)的一侧安装有一组第二到位传感器(703)。

2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴芳，姜玲玲，吴平，陈志涵，
申请(专利权)人：江阴华超新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：