一种晶圆全自动划片机自动UV解胶机制造技术

本技术公开了一种晶圆全自动划片机自动UV解胶机，包括设置在UV底板顶部的UV左侧板和UV右侧板，UV底板上设有散热板，散热板顶部设有紫外面光源，紫外面光源上方设有UV抽屉板，UV抽屉板顶部设有UV挡光板，UV抽屉板底部设有抽屉固定板，抽屉固定板表面与对应UV左侧板内壁、UV右侧板内壁之间设有钢珠滑轨，UV底板的一端设有UV抽屉盖板，UV底板一端设有散热风扇，UV抽屉板顶部设有UV导向板，UV后盖板外侧设有第一光电传感器和气缸、内侧设有第二光电传感器，气缸的伸长端设有钢圈挡片；本装置可通过气缸再次将料盘推入解胶仓，保证料盘完全到位，同时对料盘进行限位，操作便捷，设计合理，同时散热板配合多个散热风扇，大大提高了散热性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及，具体是一种晶圆全自动划片机自动uv解胶机。

技术介绍

1、在半导体芯片生产工艺中，芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，用uv光对固定胶膜进行照射使uv胶膜粘性固化硬化，以降低划片固定膜的粘性，以便后续封装工序的顺利生产；当紫外线照射时，粘合强度变低，故在紫外线照射后晶圆或芯片很容易从粘胶带上面剥离脱落。uv解胶机解决了晶圆、玻璃和陶瓷切割工艺的解胶工序，适用行业目前不仅局限于半导体封装行业，还适用于光学镜头、led、ic、半导体、集成电路板、移动硬盘等半导体材料uv膜脱胶使用。

2、而现有的uv解胶机在将待加工料盘放入解胶机仓进行加工处理时，并不能保证料盘的到位情况，即若料盘没有完全进入解胶仓内，会导致部分胶膜无法被紫外线照射到，会影响解胶效果，另外，现有装置的散热性不佳，有待加强；为此，我们设计一种晶圆全自动划片机自动uv解胶机来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种晶圆全自动划片机自动uv解胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆全自动划片机自动UV解胶机，包括设置在UV底板(9)顶部两侧的UV左侧板(5)和UV右侧板(2)；其特征在于：所述UV左侧板(5)和UV右侧板(2)顶部设有UV上盖板(8)，所述UV底板(9)顶部通过多个散热板支撑柱(22)连接有散热板(23)，所述散热板(23)顶部设有紫外面光源(20)，紫外面光源(20)外围设有UV光压圈(21)，UV光压圈(21)与散热板(23)顶部固定连接，所述UV光压圈(21)上方设有UV抽屉板(16)，UV抽屉板(16)中间设有UV防护玻璃(15)，UV抽屉板(16)顶部设有UV挡光板(19)，所述UV抽屉板(16)底部左右两侧固定设有抽屉固定板...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆全自动划片机自动uv解胶机，包括设置在uv底板(9)顶部两侧的uv左侧板(5)和uv右侧板(2)；其特征在于：所述uv左侧板(5)和uv右侧板(2)顶部设有uv上盖板(8)，所述uv底板(9)顶部通过多个散热板支撑柱(22)连接有散热板(23)，所述散热板(23)顶部设有紫外面光源(20)，紫外面光源(20)外围设有uv光压圈(21)，uv光压圈(21)与散热板(23)顶部固定连接，所述uv光压圈(21)上方设有uv抽屉板(16)，uv抽屉板(16)中间设有uv防护玻璃(15)，uv抽屉板(16)顶部设有uv挡光板(19)，所述uv抽屉板(16)底部左右两侧固定设有抽屉固定板(24)，所述抽屉固定板(24)远离uv光压圈(21)的一侧表面与对应uv左侧板(5)内壁、uv右侧板(2)内壁之间设有钢珠滑轨，所述uv底板(9)的一端设有uv抽屉盖板(4)，uv抽屉盖板(4)左右两侧分别与uv左侧板(5)和uv右侧板(2)连接，所述uv抽屉盖板(4)内壁底部与uv底板(9)之间设有间隙，uv底板(9)顶部靠近uv抽屉盖板(4)的一端设有uv散热安装板(18)，uv散热安装板(18)上设有多个散热风扇(17)，所述uv底板(9)上方远离uv抽屉盖板(4)的一端设有uv后盖板(14)，uv后盖板(14)左右两侧分别与uv左侧板(5)和uv右侧板(2)连接，所述uv抽屉板(16)顶部两侧沿钢珠滑轨滑动方向设有两个uv导向板(7)，所述uv后盖板(14)外侧表面设有连接板，连接板底部与uv底板(9)固定连接，连接板外...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡天，龚胜，谭中林，
申请(专利权)人：合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：