一种基于MEMS镜阵的扫描模组和激光雷达制造技术

本技术公开了一种基于MEMS镜阵的扫描模组和激光雷达，所述扫描模组包括光信号交换模块、光发射模块以及光接收模块，所述扫描模组通对所述光信号交换模块的改善了所述扫描模组的通光孔径，增加了光源发光面积，增加光源功率，提高扫描距离和质量。另外，通过对所述光发射模块中出光结构的设计，实现了光源在平面内任意位置垂直出光，避免出光点位于边缘时受到边缘应力和温度效应的影响，提高了扫描模组的分辨率和可靠性，还降低了整体结构设计的复杂程度，提高了空间的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及雷达设备，尤其涉及一种基于mems镜阵的扫描模组和激光雷达。

技术介绍

1、lidar(light detection and ranging)技术是一种基于激光光束的远距离测距和三维模型构建技术。它的原理是通过向目标发射激光脉冲，然后测量光脉冲从目标反射回来所需的时间来计算目标物体与lidar传感器之间的距离。通过在不同的方向上扫描激光束，lidar系统可以获取目标物体的三维坐标信息，从而创建其高分辨率的三维模型。在自动驾驶汽车领域，lidar是关键的感知器件之一。它能够提供高精度的距离测量，帮助汽车系统实时感知周围环境，检测障碍物、车辆和行人，以确保安全驾驶。同时，lidar还能够创建高分辨率的地图，帮助车辆精确定位和导航，从而实现自动驾驶。

2、mems镜阵的出现为激光雷达系统带来了新的机会和改进。mems镜阵具有快速响应、高精度和紧凑的特点，使其成为用于激光束控制和扫描的理想选择。传统的机械扫描系统往往存在惯性和机械部件磨损的问题，而mems镜阵可以在微秒级别内快速调整激光光束的方向，从而提高了数据采集的速度和精度。其次，me本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于MEMS镜阵的扫描模组，所述扫描模组包括光信号交换模块、光发射模块以及光接收模块，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述微镜列沿其自身中心轴线包括多个反光镜，所述多个反光镜连接成一个整体或一体制成一个整体。

3.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述光发射模块经构造成由至少一个VCSEL封装形式的光源组成发光阵列。

4.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述光发射模块包括PCB板以及设置在所述PCB板上的至少两个衬底块和至少一个芯片，单个所述芯片的两侧由两个所述衬底块夹持以获得供电，以使得所述芯片发...

【技术特征摘要】

1.一种基于mems镜阵的扫描模组，所述扫描模组包括光信号交换模块、光发射模块以及光接收模块，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述微镜列沿其自身中心轴线包括多个反光镜，所述多个反光镜连接成一个整体或一体制成一个整体。

3.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述光发射模块经构造成由至少一个vcsel封装形式的光源组成发光阵列。

4.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述光发射模块包括pcb板以及设置在所述pcb板上的至少两个衬底块和至少一个芯片，单个所述芯片的两侧由两个所述衬底块夹持以获得供电，以使得所述芯片发射所述第一光子的出光方向垂直于所述pcb板。

5.根据权利要求1所述的扫描模组，其特征在于，所述光交换单元经配置成：以静电式驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴东京，张浩，
申请(专利权)人：西安炬光科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：