【技术实现步骤摘要】
本专利技术为关于光束变换元件,光学照明装置，曝光装置，以及曝光方法，特 别是关于用光刻蚀刻工程制造半导体元件，摄影元件液晶显示元件，薄膜 爿磁头等的微元件之际，其所使用的曝光装置适用的光学照明装置。
技术介绍
此种典型的曝光装置，由光源射出的光束，透过光学积分器(optical integrator)及蝇眼透4竟(fly-eye lens)，由多数的光源形成实质的面光 源的二次光源。二次光源(一般为光学照明装置的照明瞳或在其近傍形成的 照明瞳分布)照出的光束，经配置在蝇眼透镜的后侧焦点面近傍的开口光圈 限制后，射入聚光透4竟(condenser lens )。由该聚光透镜聚集的光束，重叠地照明己形成所定的图案的掩膜。透过 该掩膜的图案的光，通过光学投影系统在晶圆(wafer)上成像。如此，掩 膜图案投影曝光(复制)到晶片上。又，在掩膜形成的图案己被高度积体化， 该微细图案要正确地复制到晶片上，在晶片上有均匀的照明度分布是不可 缺的。例如在本申请人提出申请的日本专利第3246615号公报中有揭露，为实 现能将任意方向的微细图案，忠实地复制之合适的照明条件，在蝇眼透...
【技术保护点】
一种光学照明装置，适用于将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括： 光学元件，利用有旋光性的结晶光学材料而形成； 其中， 所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致； 所述光学元件具有：在沿着光的透过方向的方向中、厚度互异的多个部分。
【技术特征摘要】
JP 2003-11-20 2003-3906741、一种光学照明装置，适用于将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括光学元件，利用有旋光性的结晶光学材料而形成；其中，所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致；所述光学元件具有在沿着光的透过方向的方向中、厚度互异的多个部分。2、 根据权利要求1所述的光学照明装置，其特征在于 所述多个部分沿着将所述光轴进行横切的面内而进行配置。3、 根据权利要求2所述的光学照明装置，其特征在于 沿着所述多个部分中的第1部分的光的透过方向的方向中的厚度、及沿着与所迷多个部分中的第1部分不同的第2部分的光的透过方向中的厚度，设定成使直线偏光射入时，从所述第1部分射出的直线偏光的偏光方向、与 从所述第2部分射出的直线偏光的偏光方向为相异。4、 根据权利要求3所述的光学照明装置，其特征在于从所述第1部分射出的所述直线偏光的所述偏光方向、与从所述第2 部分射出的直线偏光的偏光方向互相垂直。5、 根据权利要求3所述的光学照明装置，其特征在于 将通过所述第1部分的光束作为第1光束，且通过所述第2部分的光束作为第2光束时，所述第1光束及所述第2光束在所述光学照明装置的 照明瞳面通过相异的区域。6、 根据权利要求3所述的光学照明装置，其特征在于 所述第l部分与所述第2部分是一体地形成。7、 根据权利要求1所述的光学照明装置，其特征在于 所述光学元件的所述多个部分为沿着光的透过方向的方向中厚度互异的多个基本元件。8、 根据权利要求7所述的光学照明装置，其特征在于所述多个基本元件是沿着将所述光轴进行-f黄切的面内而进行设置。9、 根据权利要求8所述的光学照明装置，其特征在于所述多个基本元件包括第l基本元件及第2基本元件，其中，所述 第2基本元件具有与所述第1基本元件相异的厚度。10、 根据权利要求8所述的光学照明装置，其特征在于所述第1基本元件的厚度与所述第2基本元件的厚度设定成 使直线偏光射入时，从所述第l基本元件射出的直线偏光的偏光方向、 与从所述第2基本元件射出的直线偏光的偏光方向为相异。11、 根据权利要求10所述的光学照明装置，其特征在于从所述第1基本元件射出的所述直线偏光的所述偏光方向、与从所述 第2基本元件射出的所述直线偏光的所述偏光方向互相垂直。12、 根据权利要求9至11中任一权利要求所述的光学照明装置，其特 征在于将通过所述第1基本元件的光束作为第1光束，且通过所述第2基本 元件的光束作为第2光束时，所述第1光束及所述第2光束在所述光学照 明装置的照明瞳面通过相异的区域。13、 根据权利要求12所述的光学照明装置，其特征在于所述第1光束通过所述照明瞳面的区域为第1区域，且所述第2光束 通过所述照明瞳面的区域为第2区域，所述第1区域与所述第2区域的位 置被决定在所述照明瞳面的以所定点为中心的轮胎状区域的至少一部分，所述第1光束与所述第2光束具有以所述轮胎状区域的圆周方向为 偏光方向的直线偏光为主成份的...
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