一种反极性LED芯片结构制造技术

技术编号:41380020 阅读:36 留言:0更新日期:2024-05-20 10:22
本技术提供了一种反极性LED芯片结构,该反极性LED芯片结构在介质层与金属镜面层之间设置了DBR反射结构,该反极性LED芯片结构发出的光在DBR反射结构与金属镜面层都进行了反射,并且该DBR反射结构对光的反射率达到99%,所以可以进一步的提升反极性LED芯片的外量子效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体,更具体地说,涉及一种反极性led芯片结构。


技术介绍

1、现今行业内大尺寸植物照明的led芯片多采用p型gap面蚀刻图形化的方式,搭配银镜工艺制备的金属镜面层来提升芯片的外量子效率,常规的倒装芯片结构都是单一的金属镜面层,其对光的反射在98%左右;随着客户对外量子效率需求越来越高,单靠金属镜面层已经无法满足芯片发光效率的要求。

2、因此,如何提供一种外量子效率更高的led芯片的结构,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。


技术实现思路

1、有鉴于此,为解决上述问题,本技术提供一种反极性led芯片结构,技术方案如下:

2、一种反极性led芯片结构,所述反极性led芯片结构包括:

3、外延层;

4、位于所述外延层一侧的p型gap窗口层;所述p型gap窗口层暴露出部分所述外延层;

5、位于所述外延层设置有所述p型gap窗口层一侧的介质层;

6、位于所述介质层背离所述外延层一侧的dbr反射结构;

7、贯穿所述dbr反射本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种反极性LED芯片结构,其特征在于,所述反极性LED芯片结构包括:

2.根据权利要求1所述的反极性LED芯片结构,其特征在于,所述DBR反射结构包括在第一方向上叠层设置的M组第一叠层,M≥1,且M为正整数;

3.根据权利要求2所述的反极性LED芯片结构,其特征在于,所述第一DBR反射层为SiO2层。

4.根据权利要求2所述的反极性LED芯片结构,其特征在于,所述第二DBR反射层为Ti3O5层。

5.根据权利要求2所述的反极性LED芯片结构,其特征在于,在所述第一方向上,所述第一DBR反射层的厚度范围为500埃-1000埃。

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【技术特征摘要】

1.一种反极性led芯片结构,其特征在于,所述反极性led芯片结构包括:

2.根据权利要求1所述的反极性led芯片结构,其特征在于,所述dbr反射结构包括在第一方向上叠层设置的m组第一叠层,m≥1,且m为正整数;

3.根据权利要求2所述的反极性led芯片结构,其特征在于,所述第一dbr反射层为sio2层。

4.根据权利要求2所述的反极性led芯片结构,其特征在于,所述第二dbr反射层为ti3o5层。

5.根据权利要求2所述的反极性led芯片结构,其特征在于,在所述第一方向上,所述第一dbr反射层的厚度范围为500埃-1...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵鹏马祥柱黄璐徐晶班国训韩效亚
申请(专利权)人:江西乾照半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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