【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种有机发光显示器，尤其涉及一种有机发光二极管触控面 板及其制作方法。
技术介绍
有机发光二极管(organic light emitting diode， OLED)本身为一种电流 驱动元件，其发光亮度根据通过电流的大小来决定，目前将OLED应用在阵 列式显示面板上即是借由控制OLED的驱动电流的大小，来达到显示不同亮 度(又称为灰阶值)的效果。由于OLED具有省电、较无视角限制、制造成本 较低、应答速度快、可操作的温度范围大、以及可随硬件设备而小型化及薄 型化等优点。因此，OLED在平面显示器的系统中，具有极大的发展潜力。
技术实现思路
本专利技术的目的之一在于提供一种OLED触控面板及其制作方法，以将触 控面板的触控功能有效整合至OLED面板中。为达上述目的，本专利技术的实施例提供一种OLED触控面板的制作方法。 根据前述制作方法，首先，提供基板，基板上定义有至少一像素区域，且像 素区域中定义有显示区域与感测区域。之后，于基板上形成第一薄膜晶体管 与第二薄膜晶体管，分别位于显示区域与感测区域中。接着，于第一薄膜晶 体管与第二薄膜晶体管上方形成第一...
【技术保护点】
一种有机发光二极管触控面板的制作方法，包括： 提供一基板，该基板上定义有至少一像素区域，且该像素区域中定义有一显示区域与一感测区域； 于该基板上形成一第一薄膜晶体管与一第二薄膜晶体管，分别位于该显示区域与该感测区域中； 于 该第一薄膜晶体管与该第二薄膜晶体管上方形成一第一导电膜； 图案化该第一导电膜而形成一发光下电极部与一感光下电极部，该发光下电极部与该感光下电极部分别位于该显示区域与该感测区域中，且分别电连接至该第一薄膜晶体管与该第二薄膜晶体管； 于该发光下电极部上形成一图案化有机发光层； 于该感光下电极部上形成一图...
【技术特征摘要】
1.一种有机发光二极管触控面板的制作方法，包括提供一基板，该基板上定义有至少一像素区域，且该像素区域中定义有一显示区域与一感测区域；于该基板上形成一第一薄膜晶体管与一第二薄膜晶体管，分别位于该显示区域与该感测区域中；于该第一薄膜晶体管与该第二薄膜晶体管上方形成一第一导电膜；图案化该第一导电膜而形成一发光下电极部与一感光下电极部，该发光下电极部与该感光下电极部分别位于该显示区域与该感测区域中，且分别电连接至该第一薄膜晶体管与该第二薄膜晶体管；于该发光下电极部上形成一图案化有机发光层；于该感光下电极部上形成一图案化感光介电层；于该图案化有机发光层与该图案化感光介电层上形成一第二导电膜；以及图案化该第二导电膜而形成一发光上电极部与一感光上电极部，该发光上电极部与该感光上电极部分别位于该图案化有机发光层与该图案化感光介电层上。2. 如权利要求1所述的制作方法，其中该图案化感光介电层包括一富硅 氧化硅层、 一富硅氮化硅层、 一富硅氮氧化硅层、 一富硅碳化硅层或一富硅 碳氧化硅。3. 如权利要求1所述的制作方法，其中该图案化感光介电层包括一微米 硅层、 一纳米硅层、 一多晶硅层或一非晶硅层。4. 如权利要求1所述的制作方法，其中形成该第一薄膜晶体管与该第二 薄膜晶体管的步骤包括于该基板上的该显示区域与该感测区域中分别形成一图案化多晶硅层；形成一栅极绝缘层覆盖所述图案化多晶硅层与该基板上；于各所述图案化多晶硅层上方的该栅极绝缘层表面分别形成一栅极；于各所述多晶硅层中形成多个源极/漏极区域；沉积一层间绝缘层，覆盖所述栅极和该栅极绝缘层；蚀刻该层间绝缘层与该栅极绝缘层以形成多个第一介层洞于所述多个源极/漏极区域上；于所述多个介层洞中与部分的该层间绝缘层上形成一图案化源极/漏极 导电层；于该图案化源极/漏极导电层和该层间绝缘层之上形成一保护层；以及 蚀刻该保护层，以于该图案化源极/漏极导电层上形成多个第二介层洞。5. 如权利要求1所述的制作方法，其中形成该第一薄膜晶体管与该第二 薄膜晶体管的步骤包括于该基板上的该显示区域与该感测区域中分别形成一栅极； 形成一栅极绝缘层覆盖所述栅极与该基板上；于各所述栅极上方的该栅极绝缘层表面形成一图案化非晶硅层与一图 案化掺杂非晶硅层；于所述图案化掺杂非晶硅层上形成一导电层；蚀刻 该导电层与所述图案化掺杂非晶硅层，以形成多个图案化源极/漏极 导电层与多个源极/漏极区域；以及于所述图案化源极/漏极导电层上形成一 图案化保护层。6. 如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：卓恩宗，黄戎岩，彭佳添，陈俊雄，黄伟明，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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