【技术实现步骤摘要】
本公开一般涉及光电器件，具体涉及一种垂直腔面发射激光器及具有其的光电设备。
技术介绍
1、垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting lasers，vcsels)具有体积小、寿命长以及阈值电流低等优点，并在高速光学芯片、数据中心、结构光和激光雷达等领域得到了广泛应用。
2、由于谐振腔长度短，垂直腔面发射激光器固有地以单纵模形式发光，而相对较大的横向尺寸为几个微米量级，使其以多个横向模式进行发射，各个模式的发射取决于温度、电流和材料应力等因素。但是，大电流孔以更高阶模式发射激光，会导致不希望出现的大光束发散，同时各个横模以不同偏振发射激光，会造成标准vcsels发射的偏振不稳定，因此对vcsels中横向模式和偏振进行更好地控制尤为重要。
技术实现思路
1、鉴于相关技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种垂直腔面发射激光器及具有其的光电设备，能够有效控制激光器的横向模式和偏振，同时具有非常低的衍射损耗，以及不显著增加发射阈值和降低效率。
...【技术保护点】
1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述垂直腔面发射激光器包括堆叠设置的衬底层、缓冲层、第一反射器层、发光层、第二反射器层、覆盖层、偏振与模式选择层以及欧姆接触层，所述偏振与模式选择层包括层叠设置的啁啾光栅和钝化层，所述欧姆接触层围绕所述偏振与模式选择层设置。
2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述啁啾光栅和所述钝化层之间还设有至少一个保形表面层。
3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，当所述保形表面层的累积厚度超过预设阈值时，所述保形表面层的上表面为平面，其中所述预设阈值为所述啁啾光栅间隙高度的0.
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【技术特征摘要】
1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述垂直腔面发射激光器包括堆叠设置的衬底层、缓冲层、第一反射器层、发光层、第二反射器层、覆盖层、偏振与模式选择层以及欧姆接触层，所述偏振与模式选择层包括层叠设置的啁啾光栅和钝化层，所述欧姆接触层围绕所述偏振与模式选择层设置。
2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述啁啾光栅和所述钝化层之间还设有至少一个保形表面层。
3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，当所述保形表面层的累积厚度超过预设阈值时，所述保形表面层的上表面为平面，其中所述预设阈值为所述啁啾光栅间隙高度的0.5倍。
4.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述保形表面层的内部存在空隙。
5.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵宥楠，崔尧，常瑞华，沈志强，
申请(专利权)人：浙江博升光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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