【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压电微型传感器设计方法，尤其涉及基于结构动力学仿真优化的压电微型传感器设计方法。
技术介绍
1、石英谐振子，简称谐振子，是半球谐振陀螺的核心部件，也是半球谐振陀螺敏感角速度的部件。半球谐振陀螺的优异性能受到石英谐振子缺陷的限制，包括质量、刚度和阻尼缺陷，质量和刚度缺陷，导致谐振子两种主要振动模式的固有频率不匹配，使得球谐振陀螺在精度、可靠性以及寿命等性能大幅下降。在现有的制造能力条件下，提高石英谐振子的调平技术是解决石英谐振子质量不平衡的主要手段。
2、在谐振子刚性轴位置和不平衡质量辨识方法方面，根据不平衡质量的调平理论，谐振子刚性轴位置和不平衡质量的精确辨识是实现高精度调平的首要条件。由于石英谐振子密度不均匀缺陷造成的频差会引起谐振子四波腹振型位置相对于固有轴方向产生漂移，产生频率裂解从而引起半球谐振陀螺精度的误差，因此需要辨识出密度不均匀参数的大小和方向，为后续利用调平技术补偿一至三次密度不均谐波提供基础，从而为提高陀螺的精度做出准备。
3、开展低成本多自由度的半球谐振子微振动检测技术对实现高精...
【技术保护点】
1.压电微型传感器的优化设计方法，其特征在于：该方法包括步骤
2.根据权利要求1所述的压电微型传感器的优化设计方法，其特征在于：所述全参数包括所述半球谐振陀螺的支撑柱直径、半球壳直径、半球壳厚度、支撑柱高度，和支撑柱与半球壳的连接位置。
3.根据权利要求1所述的压电微型传感器的优化设计方法，其特征在于：引入的所述缺陷的类型包括：点缺陷、环状缺陷、带状缺陷及基于随机场描述的质量不均匀缺陷。
4.根据权利要求1所述的压电微型传感器的优化设计方法，其特征在于：所述第一振动模态和所述第一谐振频率是一阶至六阶的振动模态和谐振频率。
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