【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空设备压力控制技术和分析仪器领域,具体讲就是涉及一种真空压力调节阀。
技术介绍
1、真空压力调节阀是真空设备或系统压力调节不可缺少的部件,工作原理通过改变阀芯与阀座之间的流通面积,达到调节介质流量大小,从而实现调节真空度的目的。
2、现有技术中,现有真空压力调节阀中低端产品一般线性范围窄,灵敏度、精度不高,特别是在中低端真空设备中,要实现两个或多个系统之间压力调节和平衡,很难实现,若采用电磁比例阀控制,性价比低,且需要控制电路配合,整个系统复杂,无法实现高性价比产品和技术优势。而对于真空压力调节阀,其密封是关键,一般现在都采用阀芯、阀座之间的密封多为金属硬密封,对金属零件的加工精度要求较高;现有些厂商为了提高阀的灵敏度,特意加大阀芯与阀座配合孔的深度,这样就会对加工的精度提出了更高的要求。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请提出了一种真空压力调节阀,包括阀座、阀芯座以及阀芯轴组件;所述阀座的内部中空,且所述阀座向外连通有进气端法兰与出气端法兰,所述阀芯座可拆卸安装在
...【技术保护点】
1.一种真空压力调节阀,其特征在于,包括阀座、阀芯座以及阀芯轴组件;
2.根据权利要求1所述的真空压力调节阀,其特征在于,所述阀芯座的侧壁上具有定位台阶结构,所述泄压孔的中心位于所述台阶结构上。
3.根据权利要求1所述的真空压力调节阀,其特征在于,所述阀芯轴组件包括轴主体、密封圈、第一密封垫与压缩弹簧;
4.根据权利要求1所述的真空压力调节阀,其特征在于,还包括连接件;
5.根据权利要求4所述的真空压力调节阀,其特征在于,所述连接件的两侧对称设置有让位缺口,所述让位缺口的设置位置与所述泄压孔的位置相对应。
6
...【技术特征摘要】
1.一种真空压力调节阀,其特征在于,包括阀座、阀芯座以及阀芯轴组件;
2.根据权利要求1所述的真空压力调节阀,其特征在于,所述阀芯座的侧壁上具有定位台阶结构,所述泄压孔的中心位于所述台阶结构上。
3.根据权利要求1所述的真空压力调节阀,其特征在于,所述阀芯轴组件包括轴主体、密封圈、第一密封垫与压缩弹簧;
4.根据权利要求1所述的真空压力调节阀,其特征在于,还包括连接件;
5.根据权利要求4所述的真空压力调节阀,其特征在于,所述连接件的两侧对称设置有让位缺口,所述让位缺口的设置位置与所述泄压孔的...
【专利技术属性】
技术研发人员:鲍春,张斌,谢志清,蔡文冲,
申请(专利权)人:上海梅科伍德电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。