Luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置、测量方法制造方法及图纸

本申请公开了一种Luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置、测量方法，支撑装置包括：定位卡圈、吸附垫、水平调节螺钉、测量基座；测量基座通过水平调节螺钉与Luphoscan轮廓仪调心平台拆卸连接；测量基座中心处设置支撑圆环；支撑圆环顶面设置弧形支撑面与待测透镜贴合支撑，吸附垫粘贴于弧形支撑面上；待测量透镜吸附于吸附垫上，并由定位卡圈定位；定位卡圈罩于支撑圆环上；待测量透镜的外圈卡接于定位卡圈侧壁上。采用该装置固定透镜后，可显著提高Luphoscan轮廓仪面形测量结果的一致性，减少测量结果误差，提高测量结果重复性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学器件加工，特别是一种luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置、测量方法。

技术介绍

1、随着光电技术的发展，对光学透镜的面形要求越来越高。为实现星载光电系统超远作用距离，其光学系统要求大口径、高精度。目前，卫星红外载荷所用透镜材料覆盖了锗、硅、硫化锌、硒化锌和硫系玻璃等各类主要红外光学材料，其前端光学透镜口径已超过φ200mm，面形要求高达pv≤0.2μm，rms≤0.03μm，甚至更高。

2、而常规红外光学透镜的面形要求仅为pv(0.4～0.6)μm，rms(0.06～0.1)μm。高精度的要求对红外光学透镜的加工及面形测量提出新挑战。高精度的测量能有效保证加工精度达到要求，测量结果误差大，会严重影响对加工精度的准确反馈。

3、现有常规接触式轮廓仪，典型如泰勒-霍普森公司出品的pgi 1240轮廓仪已无法满足面形测量要求，必须使用非接触式luphoscan轮廓仪进行测量；而luphoscan轮廓仪是一款基于多波长干涉传感技术的高速非接触式3d非球面光学面形测量系统，该轮廓仪通过激光测距的方法来测量，测量原理参本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种Luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置，其特征在于，支撑装置包括：定位卡圈、吸附垫、水平调节螺钉、测量基座；测量基座通过水平调节螺钉与Luphoscan轮廓仪调心平台拆卸连接；测量基座中心处设置支撑圆环；支撑圆环顶面设置弧形支撑面与待测透镜贴合支撑，吸附垫粘贴于弧形支撑面上；待测量透镜吸附于吸附垫上，并由定位卡圈定位；定位卡圈罩于支撑圆环上；待测量透镜的外圈卡接于定位卡圈侧壁上；

2.根据权利要求1所述的Luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置，其特征在于，定位卡圈包括：环体和多个开设于环体上的开槽；待测透镜周缘卡接于开槽内。p>

3.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置，其特征在于，支撑装置包括：定位卡圈、吸附垫、水平调节螺钉、测量基座；测量基座通过水平调节螺钉与luphoscan轮廓仪调心平台拆卸连接；测量基座中心处设置支撑圆环；支撑圆环顶面设置弧形支撑面与待测透镜贴合支撑，吸附垫粘贴于弧形支撑面上；待测量透镜吸附于吸附垫上，并由定位卡圈定位；定位卡圈罩于支撑圆环上；待测量透镜的外圈卡接于定位卡圈侧壁上；

2.根据权利要求1所述的luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置，其特征在于，定位卡圈包括：环体和多个开设于环体上的开槽；待测透镜周缘卡接于开槽内。

3.根据权利要求1所述的luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置，其特征在于，定位卡圈的内壁与待测透镜侧壁的间隙在0.03mm～0.1mm范围内。

4.根据权利要求1所述的luphoscan轮廓仪用高精度透镜测量支撑装置，其特征在于，测量基座包括：盘体、凸台；凸台设置于盘体中心区域；支撑圆环设置于凸台中心区域；盘体周缘开设多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢启明，康杰，马峰亮，刘尧，李陈涛，张敬东，李秉胜，游津京，王宇彤，周涛，吕敏，
申请(专利权)人：云南北方光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：