【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及双氧水制备，尤其涉及一种反渗透膜法制备超高纯双氧水的连续生产方法。
技术介绍
1、高纯双氧水是大规模集成电路生产中所必须可少的原料，由于电子元器件所用的试剂中的杂质，会对电子元器件性能、导电性及寿命等产生直接的影响，所以需要用到纯度较高的双氧水，电子级双氧水目前被广泛应用在半导体、超大集成电路装配和加工过程中的清洗和腐蚀等方面，是电子工业中一种十分重要的工艺化学品；
2、目前有采用反渗透膜法制备双氧水，将冷冻后的双氧水经过大孔吸附树脂吸附toc后送入ro膜过滤系统，ro反渗透允许水分子透过，起到纯化双氧水的作用，在制备的过程中，双氧水中的有机碳会严重影响产品的品质，会使用到大孔吸附树脂去吸附双氧水的toc，树脂吸附饱和后，采用甲醇进行解析，解析完成后树脂继续使用，但专利技术人发现对饱和树脂进行解析的同时会停止大孔吸附树脂去吸附双氧水的toc，造成对双氧水制备进程的障碍。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提出一种反渗透膜法制备超高纯双氧水的连续生产方法，能够使得大孔吸附树脂持续对双氧水中toc进行吸附，加快高纯双氧水制备进程。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种可持续吸收双氧水中toc组件，包括：
4、圆筒，能够以其虚拟中轴线作旋转；
5、多个圆孔，圆周等距排布在圆筒上，并贯穿圆筒的两端，内含大孔吸附树脂；
6、第一盖板和第二盖板，分别转动设置在圆孔的两端，且第一盖板
7、封闭环，固定设置在圆筒的一端，并盖合在圆孔的一端；
8、四个管道，圆周等距排布在封闭环的一侧，分别为第一管道、第二管道、第三管道和第四管道，分别用于含toc双氧水的进入、经过大孔吸附树脂吸附后双氧水的排出、甲醇的进入和甲醇的排出；
9、其中，随着圆筒的均速旋转，圆孔旋转至第一管道，则含toc双氧水进入圆孔并与大孔吸附树脂接触，大孔吸附树脂吸附toc，圆孔旋转至第二管道，双氧水排出，圆孔旋转至第三管道，甲醇进入圆孔，并对吸附toc的大孔吸附树脂解析，圆孔旋转至第四管道，甲醇排出，以此循环往复。
10、优选地，组件还包括底座，底座具有第一环槽，第一环槽滑动连接第一环体，第一环体与圆筒外壁固定套接，底座与封闭环之间固定连接。
11、优选地，圆筒的一端转动连接第一传动轮，底座上安装转动电机，转动电机的输出端固定连接第二传动轮，第一传动轮与第二传动轮之间通过传动带连接。
12、优选地，第一盖板与第二盖板之间通过固定轴固定相连，固定轴固定连接两个弯曲块，弯曲块从固定轴方向向圆孔内壁方向延伸，且其中一个弯曲块的一端与第一盖板之间形成缺口，另一个弯曲块的一端与第二盖板之间形成缺口，第一盖板和第二盖板均固定套接第二环体，圆筒开设第二环槽，第二环体与第二环槽之间滑动连接，当第一盖板和第二盖板开始旋转，圆孔内的大孔吸附树脂在两个弯曲块的引导下，在圆孔内的两端之间不断往复滚动。
13、优选地，在圆筒另一端设置配合环，配合环与底座之间固定连接，固定轴的一端穿过第二盖板向配合环方向延伸，并固定连接圆轮，配合环内固定连接弧形块，弧形块的外圈与圆轮的外圈能够相互接触，相互接触时，圆轮发生旋转，圆环与弧形块均采用橡胶材质制成。
14、优选地，固定轴开设第一槽孔，第一槽孔内滑动连接滑动轴，第一槽孔内设置压簧，压簧的两端分别与固定轴和滑动轴连接，滑动轴开设第二槽孔，滑动轴远离压簧的一端向配合环延伸，在配合环内部还固定连接引导块，引导块具有斜面，固定轴和滑动轴均开设连通口，当滑动轴移动至引导块上时，压簧进一步挤压，固定轴上的连通口与滑动轴上的连通轴不相连通，被堵塞，而滑动轴离开引导块时，压簧推动滑动轴，使得固定轴上的连通口与滑动轴上的连通轴相连通。
15、优选地，配合环开设至少一个通风口，固定轴固定连接限位块，滑动轴开设限位槽，限位块与限位槽之间滑动连接。
16、一种可持续吸收双氧水中toc组件的使用方法，包括以下步骤：
17、转动电机启动，通过传动带使得圆筒开始旋转；
18、与第一管道连通的圆孔进入含有toc的双氧水，圆孔内大孔吸附树脂吸附toc，圆筒继续旋转；
19、大孔吸附树脂吸附toc后的圆孔与第二管道对应，则被吸附toc后的双氧水从第二管道流出，圆筒继续旋转；
20、圆孔与第三管道对应，甲醇流入，同时该圆孔对应的圆轮与弧形块接触因摩擦力而发生相应旋转，则在旋转过程中，圆孔内大孔吸附树脂沿着弯曲块弯曲方向潮其缺口滚动，后与另一个弯曲块接触，并朝向另一个弯曲块缺口滚动，实现在圆孔内往复循环滚动，圆筒继续旋转；
21、圆孔与第四管道对应，解析完成的甲醇从第四管道流出，圆筒继续旋转；
22、滑动轴脱离引导块，外界与圆孔连通，加快甲醇的挥发，并接近第一管道，以此循环往复。
23、一种反渗透膜法制备超高纯双氧水的连续生产方法，包括以下步骤：
24、冷冻后的双氧水输送到吸收双氧水中toc组件吸附处理toc杂质，除杂后进入1#中间罐；
25、1#中间罐循环泵将toc吸附后的双氧水打到保安过滤器，通过高压泵将双氧水输送至ro膜过滤系统，经过ro膜后进入2#中间罐。
26、相比现有技术，本专利技术的有益效果为：
27、本专利技术通过均速缓慢旋转的圆筒，使得各圆孔依次对应第一管道、第二管道、第三管道和第四管道，使得吸附toc的大孔吸附树脂后立即被甲醇解析，后再次对含有toc的双氧水吸附，以保证大孔吸附树脂持续对双氧水中toc进行吸附，加快高纯双氧水制备进程，且不会因对大孔吸附树脂解析造成阻碍双氧水的制备。
28、本专利技术中当圆孔与第三管道对应时，甲醇流入，同时该圆孔对应的圆轮与弧形块接触因摩擦力而发生相应旋转，则在旋转过程中，圆孔内大孔吸附树脂沿着弯曲块弯曲方向潮其缺口滚动，后与另一个弯曲块接触，并朝向另一个弯曲块缺口滚动，实现在圆孔内往复循环滚动，则滚动中的大孔吸附树脂方便甲醇解析更加充分。
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1.一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，组件还包括底座(10)，底座(10)具有第一环槽(11)，第一环槽(11)滑动连接第一环体(12)，第一环体(12)与圆筒(1)外壁固定套接，底座(10)与封闭环(5)之间固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，圆筒(1)的一端转动连接第一传动轮(13)，底座(10)上安装转动电机(14)，转动电机(14)的输出端固定连接第二传动轮(15)，第一传动轮(13)与第二传动轮(15)之间通过传动带(16)连接。
4.根据权利要求3所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，第一盖板(3)与第二盖板(4)之间通过固定轴(17)固定相连，固定轴(17)固定连接两个弯曲块(18)，弯曲块(18)从固定轴(17)方向向圆孔(2)内壁方向延伸，且其中一个弯曲块(18)的一端与第一盖板(3)之间形成缺口，另一个弯曲块(18)的一端与第二盖板(4)之间形成缺口，第一盖板(3)和第二盖板(
5.根据权利要求4所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，在圆筒(1)另一端设置配合环(21)，配合环(21)与底座(10)之间固定连接，固定轴(17)的一端穿过第二盖板(4)向配合环(21)方向延伸，并固定连接圆轮(22)，配合环(21)内固定连接弧形块(32)，弧形块(32)的外圈与圆轮(22)的外圈能够相互接触，相互接触时，圆轮(22)发生旋转，圆环与弧形块(32)均采用橡胶材质制成。
6.根据权利要求5所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，固定轴(17)开设第一槽孔(23)，第一槽孔(23)内滑动连接滑动轴(24)，第一槽孔(23)内设置压簧(25)，压簧(25)的两端分别与固定轴(17)和滑动轴(24)连接，滑动轴(24)开设第二槽孔(26)，滑动轴(24)远离压簧(25)的一端向配合环(21)延伸，在配合环(21)内部还固定连接引导块(27)，引导块(27)具有斜面，固定轴(17)和滑动轴(24)均开设连通口(28)，当滑动轴(24)移动至引导块(27)上时，压簧(25)进一步挤压，固定轴(17)上的连通口(28)与滑动轴(24)上的连通轴不相连通，被堵塞，而滑动轴(24)离开引导块(27)时，压簧(25)推动滑动轴(24)，使得固定轴(17)上的连通口(28)与滑动轴(24)上的连通轴相连通。
7.根据权利要求6所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件，其特征在于，配合环(21)开设至少一个通风口(29)，固定轴(17)固定连接限位块(30)，滑动轴(24)开设限位槽(31)，限位块(30)与限位槽(31)之间滑动连接。
8.根据权利要求7所述的一种可持续吸收双氧水中TOC组件的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
9.一种反渗透膜法制备超高纯双氧水的连续生产方法，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种可持续吸收双氧水中toc组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种可持续吸收双氧水中toc组件，其特征在于，组件还包括底座(10)，底座(10)具有第一环槽(11)，第一环槽(11)滑动连接第一环体(12)，第一环体(12)与圆筒(1)外壁固定套接，底座(10)与封闭环(5)之间固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种可持续吸收双氧水中toc组件，其特征在于，圆筒(1)的一端转动连接第一传动轮(13)，底座(10)上安装转动电机(14)，转动电机(14)的输出端固定连接第二传动轮(15)，第一传动轮(13)与第二传动轮(15)之间通过传动带(16)连接。
4.根据权利要求3所述的一种可持续吸收双氧水中toc组件，其特征在于，第一盖板(3)与第二盖板(4)之间通过固定轴(17)固定相连，固定轴(17)固定连接两个弯曲块(18)，弯曲块(18)从固定轴(17)方向向圆孔(2)内壁方向延伸，且其中一个弯曲块(18)的一端与第一盖板(3)之间形成缺口，另一个弯曲块(18)的一端与第二盖板(4)之间形成缺口，第一盖板(3)和第二盖板(4)均固定套接第二环体(19)，圆筒(1)开设第二环槽(20)，第二环体(19)与第二环槽(20)之间滑动连接，当第一盖板(3)和第二盖板(4)开始旋转，圆孔(2)内的大孔吸附树脂在两个弯曲块(18)的引导下，在圆孔(2)内的两端之间不断往复滚动。
5.根据权利要求4所述的一种可持续吸收双氧水中toc组件，其特征在于，在圆筒(1)另一端设置配合环(21)，配合环(21)与底座(10)之间固定连接，固定轴(17)的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵继广，徐浩，蔡鹏，
申请(专利权)人：江苏捷创新材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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