【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子级双氧水循环过滤，具体为一种电子级双氧水循环过滤的方法。
技术介绍
1、双氧水通常分为工业级、食品级、试剂级和电子级。电子级双氧水是大规模集成电路生产中所必须可少的原料，采用工业双氧水产品为原料，经树脂吸附或膜过滤，离子交换等过程制得。电子级双氧水的质量要求非常高，因为即使微小的杂质也可能对电子元件和集成电路产生不良影响。
2、电子级双氧水在制备过程中需要对其进行循环过滤，主要目的是确保其高纯度，以满足严格的工业标准和生产要求。现有技术中电子级双氧水循环过滤方法不仅工艺复杂，效率较低，同时还需要大量能量来保持水循环并进行过滤，成本较高，有待进一步开发改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的就在于为了解决现有技术中电子级双氧水循环过滤方法不仅工艺复杂，效率较低，同时还需要大量能量来保持水循环并进行过滤，成本较高的问题而提供一种电子级双氧水循环过滤的方法。
2、本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种电子级双氧水循环过滤的方法，包括以下步骤：
3、步骤s01：原水预处理，使用去离子水作为原水，以满足符合电子级纯净水的要求，然后使用微孔滤器去除原水中0.2微米以下固体颗粒；
4、步骤s02：混合反应，向所述步骤s01处理后的原水中注入电子级双氧水，同时进行搅拌，以确保双氧水与原水充分混合反应；
5、步骤s03：过滤，将所述步骤s02中混合反应后的水通过超滤或纳滤膜中的一种进行过滤，以去除微小的颗粒、微生
6、步骤s04：再循环，将所述步骤s03中过滤处理后的水中再次注入双氧水，进行循环以保持水质的一致性，并确保双氧水的有效使用；
7、步骤s05：在线监测，对所述步骤s04中双氧水的水质浓度进行实时监测，在达到所需的水质浓度排出即可；
8、进一步的，对所述步骤s01中过滤后的原水使用离子交换树脂进行软化。
9、进一步的，所述步骤s02中的搅拌速度为80-100r/min，反应时间为10-20min。
10、进一步的，所述步骤s02和所述步骤s04中双氧水的注入均采用自动控制系统操作，以确保双氧水注入量的准确控制。
11、进一步的，所述步骤s05中用于水质浓度监测的传感器需定期维护校准。
12、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术提供的电子级双氧水循环过滤方法工艺步骤简单，易于操作实现，能够有效提高电子级双氧水循环过滤的效率和电子级双氧水循环过滤的效果，同时无需大量能量来保持水循环，大幅降低生产成本，适合推广使用。
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1.一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于:对所述步骤S01中过滤后的原水使用离子交换树脂进行软化。
3.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于:所述步骤S02中的搅拌速度为80-100r/min，反应时间为10-20min。
4.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于:所述步骤S02和所述步骤S04中双氧水的注入均采用自动控制系统操作，以确保双氧水注入量的准确控制。
5.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于:所述步骤S05中用于水质浓度监测的传感器需定期维护校准。
【技术特征摘要】
1.一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于:对所述步骤s01中过滤后的原水使用离子交换树脂进行软化。
3.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水循环过滤的方法，其特征在于:所述步骤s02中的搅拌速度为80-100r/min，反应时...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘松，赵继舟，徐浩，
申请(专利权)人：江苏捷创新材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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