【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种具有增热机构的石英加热器。
技术介绍
1、加热器是指利用电能达到加热效果的电器，它体积小，加热功率高，使用十分广泛，采用智能控制模式，控温精度高，可与计算机联网，应用范围广，寿命长，可靠性高，加热器原理的核心的是能量转换，最广泛的就是电能转换成热能。
2、现有的加热器采用三层云母板结构，中间云母板上缠绕有电热丝，上下两云母板盖在缠绕有电热丝的中间云母板上，该结构的加热器最高加热温度为300℃，当温度过高时，上下云母板会发生膨胀，当温度到达550℃时云母板会发生损坏，从而影响其正常使用。
技术实现思路
1、本技术主要解决的技术问题是提供一种具有增热机构的石英加热器，能够提高加热温度。
2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种具有增热机构的石英加热器，包括一箱体，所述箱体内安装有电热丝，所述电热丝呈螺旋状安装在所述箱体内，所述箱体内还安装有增热结构；
3、所述增热结构包括用于所述电热丝安装的固定结构和安装在所述固定结构上下面的保护结构。
4、在本技术一个较佳实施例中，所述固定结构包括一个安装板，所述安装板上开设有凹槽，所述电热丝内嵌在所述凹槽内。
5、在本技术一个较佳实施例中，所述保护结构包括位于所述安装板上表面的石英盖板和位于所述安装板下表面的轻量板，所述石英盖板、所述安装板和所述轻量板从上到下依次安装在所述箱体内。
6、在本技术一个较佳实施例中，所述安
7、在本技术一个较佳实施例中，所述安装板采用高密度硅酸盐，所述轻量板采用低密度硅酸盐。
8、在本技术一个较佳实施例中，所述石英盖板盖住所述箱体上开口后与所述凹槽内的所述电热丝接触。
9、本技术的有益效果是：本技术一种具有增热机构的石英加热器，该加热器采用增热结构，能够提高加热温度，弥补了现有加热器加热温度低的缺陷。
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1.一种具有增热机构的石英加热器，包括一箱体，所述箱体内安装有电热丝，所述电热丝呈螺旋状安装在所述箱体内，其特征在于，所述箱体内还安装有增热结构；
2.根据权利要求1所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述固定结构包括一个安装板，所述安装板上开设有凹槽，所述电热丝内嵌在所述凹槽内。
3.根据权利要求2所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述保护结构包括位于所述安装板上表面的石英盖板和位于所述安装板下表面的轻量板，所述石英盖板、所述安装板和所述轻量板从上到下依次安装在所述箱体内。
4.根据权利要求3所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述安装板与所述轻量板均采用硅酸盐材质。
5.根据权利要求4所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述安装板采用高密度硅酸盐，所述轻量板采用低密度硅酸盐。
6.根据权利要求3所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述石英盖板盖住所述箱体上开口后与所述凹槽内的所述电热丝接触。
【技术特征摘要】
1.一种具有增热机构的石英加热器，包括一箱体，所述箱体内安装有电热丝，所述电热丝呈螺旋状安装在所述箱体内，其特征在于，所述箱体内还安装有增热结构；
2.根据权利要求1所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述固定结构包括一个安装板，所述安装板上开设有凹槽，所述电热丝内嵌在所述凹槽内。
3.根据权利要求2所述的一种具有增热机构的石英加热器，其特征在于：所述保护结构包括位于所述安装板上表面的石英盖板和位于所述安装板下表面的轻量板，...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶晓峰，陆叶佳，
申请(专利权)人：常熟市电热合金材料厂有限公司，
类型：新型
国别省市：
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