传感器光功率测量装置制造方法及图纸

本技术涉及光功率检测技术领域，具体公开了传感器光功率测量装置。该装置用于测量待测传感器，待测传感器设有用于发射激光的发射窗口和用于接收激光的接收窗口，传感器光功率测量装置包括反射镜、分光棱镜和计探组件；发射窗口与反射镜中心正对，发射窗口与接收窗口连线与反射镜中心与发射窗口连线相互垂直且均位于工作平面内，反射镜能够绕工作轴线旋转，工作轴线垂直于工作平面且经过反射镜中心；分光棱镜设于反射镜中心与发射窗口连线之间，分光棱镜用于将部分激光反射，将其余激光透射；计探组件用于测量从分光棱镜反射的激光。该装置利用可转动的反射镜，得以在测量实时光功率时，对输出光功率进行监测和调控，以实现全面的测量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光功率检测，尤其涉及传感器光功率测量装置。

技术介绍

1、激光位移传感器在研制和生产过程中，需要对激光位移传感器的输出光功率进行准确测量。

2、目前，通常采用半导体光电检测或热转换型方式实现对光功率的测量，然而，考虑到激光位移传感器通常具有光功率实时调节功能，其实时光功率输出值与传感器的待测面表面的特性有关。用常规光功率计测量其光功率输出值时，光功率计探单元的反射特性会影响传感器的内部光功率调节，从而无法确定传感器的光输出特性，无法获取到输出光功率的变化范围，难以实现对激光位移传感器的全面测量，不能满足激光位移传感器的输出光功率的实际测量要求。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供传感器光功率测量装置，用以在测量实时光功率的同时，对待测传感器的输出光功率进行监测和调控，获得输出光功率的变化范围，以实现对激光位移传感器的全面测量。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、传感器光功率测量装置，用于测量待测传感器，所述待测传感器设有发射窗口和接收窗口，所述发射本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.传感器光功率测量装置，用于测量待测传感器(100)，所述待测传感器(100)设有发射窗口(110)和接收窗口(120)，所述发射窗口(110)用于发射激光，所述接收窗口(120)用于接收激光，所述发射窗口(110)与所述接收窗口(120)的连线平行于第一方向，其特征在于，所述传感器光功率测量装置包括：

2.根据权利要求1所述的传感器光功率测量装置，其特征在于，所述计探组件包括间隔设置的聚光单元(300)和光功率计探单元(400)，所述聚光单元(300)用于聚焦从所述分光棱镜(200)反射的激光，所述光功率计探单元(400)用于测量穿过所述聚光单元(300)的激光。

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【技术特征摘要】

1.传感器光功率测量装置，用于测量待测传感器(100)，所述待测传感器(100)设有发射窗口(110)和接收窗口(120)，所述发射窗口(110)用于发射激光，所述接收窗口(120)用于接收激光，所述发射窗口(110)与所述接收窗口(120)的连线平行于第一方向，其特征在于，所述传感器光功率测量装置包括：

2.根据权利要求1所述的传感器光功率测量装置，其特征在于，所述计探组件包括间隔设置的聚光单元(300)和光功率计探单元(400)，所述聚光单元(300)用于聚焦从所述分光棱镜(200)反射的激光，所述光功率计探单元(400)用于测量穿过所述聚光单元(300)的激光。

3.根据权利要求2所述的传感器光功率测量装置，其特征在于，所述光功率计探单元(400)与所述分光棱镜(200)的连线平行于所述第一方向，所述聚光单元(300)设于光功率计探单元(400)与所述分光棱镜(200)的连线之间。

4.根据权利要求3所述的传感器光功率测量装置，其特征在于，所述聚光单元(300)能够沿所述第一方向往复移动。

5.根据权利要求4所述的传感器光功率测量装置，其特征在于，所述传感器光功率测量装置还包括承载台，所述待测传感器(100)、所述分光棱镜(200)和所述光功率计探单元(400)分...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢本超，姚文政，
申请(专利权)人：光子深圳精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：