本发明专利技术主要涉及一种带运动补偿的高压馈入真空态装置。包括有高压馈入导电杆（２２），导电杆（２２）位于真空腔体（９）内，导电杆（２２）一端接高压电极（３），与高压电极（３）对应设有接地电极（２），导电杆（２２）另一端穿过过渡套（２１）和外绝缘陶瓷（１４）接高压输出件（１６），过渡套（２１）通过法兰（１１）安装在真空腔体（９）上，外绝缘陶瓷（１４）一端通过压环（２０）和螺栓与过渡套（２１）相连，外绝缘陶瓷（１４）另一端安装有压盖（１７），外绝缘陶瓷（１４）的两端分别设有屏蔽环（１９）和屏蔽球（１５）。其消除了额外增加的高压电极及其驱动装置运动阻力，实现对高压电场运动的精确性控制，而且具有灵活、可靠、高真空、体积小、输送电压高的特点。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及电真空领域的在真空情况下形成带运动补偿的高压电场所需要的高压馈人器件
，尤其涉及一种带运动补偿的高压馈入真空态装置。
技术介绍
目前，在电真空领域中，需要在真空态中形成带运动补偿的高压电场的情形很多， 为了使高压馈入线能够补偿电场在平面内的平移及旋转运动，传统做法是将高压馈入线制 成波浪形，使用过程中不仅容易产生局部硬化、断裂，可靠性差，而且额外增加了高压电极 及其驱动装置运动阻力，影响高压电场运动的精确性。因此研制这样器件显得十分有意义， 解决在真空态下形成带运动补偿的高压电场所需要的高压馈人器件问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于避免现有技术的不足之处而提供一种带运动补偿的高压馈入 真空态装置，从而有效解决了现有技术中的问题。 本专利技术的目的可以通过采用以下技术方案来实现所述的带运动补偿的高压馈入 真空态装置，包括有高压馈入导电杆(22)，其特点在于所述的导电杆(22)位于真空腔体 (9)内，导电杆(22) —端接高压电极(3)，与高压电极(3)对应设有接地电极(2)，导电杆(22) 另一端穿过过渡套(21)和外绝缘陶瓷(14)接高压输出件(16)，过渡套(21)通过法 兰(11)安装在真空腔体(9)上，外绝缘陶瓷(14) 一端通过压环(20)和螺栓与过渡套(21) 相连，外绝缘陶瓷(14)另一端安装有压盖(17)，外绝缘陶瓷(14)的两端分别设有屏蔽环 (19)和屏蔽球(15)，所述的法兰(11)上还安装有大底板(1)、第一步进电机(13)和第二步 进电机(18)。 所述的第一步进电机(13)的动力输出轴通过第一传动轴(8)与安装在大底板(1) 上的第一传动器(7)相连，第一传动器(7)与小底板(6)相连，接地电极(2)固定在小底板 (6)之上；第二步进电机(18)的动力输出轴通过第二传动轴(25)与安装在大底板(1)上 的第二传动器(24)相连，第二传动器(24)通过拉杆(23)与小底板(6)相连。 所述的第一传动器(7)和第二传动器(24)上设有分别带动小底板(6)和拉杆(23) 移动的结构，所述的第一步进电机(13)通过第一真空动密封(12)安装在法兰(11) 上，第二步进电机(18)通过第二真空动密封(26)安装在法兰(11)上。所述的高压电极 (3)通过内绝缘陶瓷(4)及撑架(5)也固定在小底板(6)之上。所述的导电杆(22)由前 段(22-1)、中段(22-2)和后段(22-3)三部分组成，中段(22-2)两端与前段(22-1)和后段 (22-3)为球绞联结，中段(22-2)为伸縮式结构。所述的法兰(11)与真空腔体(9)之间安 装有橡胶密封圈(10)。 本专利技术的有益效果是所述的带运动补偿的高压馈入真空态装置，大气态中的高 压输出件(16)通过压盖(17)、导电杆(22)将高压输送到真空内的接地电极(2)和高压电 极(3)之间，形成所需要的高压电场，其场水平可以达到80KV以上；可以灵活补偿高压电极付在水平面内几至十几厘米平移及±10°旋转运动造成的位移量；消除了额外增加的高压电极及其驱动装置运动阻力，实现对高压电场运动的精确性控制，而且具有灵活、可靠、 高真空、体积小、输送电压高的特点。附图说明 图1为本专利技术的结构示意图； 图2为本专利技术的侧向剖面示意图； 图3为本专利技术在平面内作平移运动的示意图； 图4为本专利技术在平面内作旋转运动的示意图； 图5为本专利技术导电杆(22)局部放大结构示意图。具体实施例方式以下结合附图所示之最佳实施例作进一步详述 见图1、2、3、4、5，所述的带运动补偿的高压馈入真空态装置，包括有高压馈入导电 杆22，其特点在于所述的导电杆22位于真空腔体9内，导电杆22 —端接高压电极3，与高 压电极3对应设有接地电极2，导电杆22另一端穿过过渡套21和外绝缘陶瓷14接高压输 出件16，过渡套21通过法兰11安装在真空腔体9上，外绝缘陶瓷14 一端通过压环20和螺 栓与过渡套21相连，外绝缘陶瓷14另一端安装有压盖17，外绝缘陶瓷14的两端分别设有 屏蔽环19和屏蔽球15，所述的法兰11还安装有大底板1、第一步进电机13和第二步进电 机18。 所述的第一步进电机13的动力输出轴通过第一传动轴8与安装在大底板1上的 第一传动器7相连，第一传动器7与小底板6相连，接地电极2固定在小底板6之上；第二 步进电机18的动力输出轴通过第二传动轴25与安装在大底板1上的第二传动器24相连， 第二传动器24通过拉杆23与小底板6相连。 所述的第一传动器7和第二传动器24上设有分别带动小底板6和拉杆23移动的 结构，所述的第一步进电机13通过第一真空动密封12安装在法兰11上，第二步进电机18 通过第二真空动密封26安装在法兰11上。所述的高压电极3通过内绝缘陶瓷4及撑架5 也固定在小底板6之上。所述的导电杆22由前段22-1、中段22-2和后段22_3三部分组 成，中段22-2两端与前段22-1和后段22-3为球绞联结，中段22_2为伸縮式结构，从而可 以实现在较大范围内对平移及旋转运动所产生位移量进行补偿。所述的法兰11与真空腔 体9之间安装有橡胶密封圈10。 所述的带运动补偿的高压馈入真空态装置，第一步进电机13通过第一真空动密 封12及第一传动轴8将旋转运动作用到第一传动器7之上，第一传动器7将旋转运动转化 为直线运动作用到小底板6之上；同理，第二步进电机18、第二真空动密封26、第二传动轴 25、第二传动器24传递相同的运动到小底板6之上。不同之处是第一传动器7与小底板6 直接相联接，第二传动器24与小底板6通过拉杆23相联接。当第一步进电机13和第二步 进电机18分别得到转动指令时，小底板6会托着接地电极2和高压电极3在大底板1的平 面内做相应的平移及旋转运动，而高压馈入导电杆22会自动补偿高压电极3运动造成的位 移量。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带运动补偿的高压馈入真空态装置，包括有高压馈入导电杆（２２），其特征在于：所述的导电杆（２２）位于真空腔体（９）内，导电杆（２２）一端接高压电极（３），与高压电极（３）对应设有接地电极（２），导电杆（２２）另一端穿过过渡套（２１）和外绝缘陶瓷（１４）接高压输出件（１６），过渡套（２１）通过法兰（１１）安装在真空腔体（９）上，外绝缘陶瓷（１４）一端通过压环（２０）和螺栓与过渡套（２１）相连，外绝缘陶瓷（１４）另一端安装有压盖（１７），外绝缘陶瓷（１４）的两端分别设有屏蔽环（１９）和屏蔽球（１５），所述的法兰（１１）上还安装有大底板（１）、第一步进电机（１３）和第二步进电机（１８）。
【技术特征摘要】
一种带运动补偿的高压馈入真空态装置，包括有高压馈入导电杆(22)，其特征在于所述的导电杆(22)位于真空腔体(9)内，导电杆(22)一端接高压电极(3)，与高压电极(3)对应设有接地电极(2)，导电杆(22)另一端穿过过渡套(21)和外绝缘陶瓷(14)接高压输出件(16)，过渡套(21)通过法兰(11)安装在真空腔体(9)上，外绝缘陶瓷(14)一端通过压环(20)和螺栓与过渡套(21)相连，外绝缘陶瓷(14)另一端安装有压盖(17)，外绝缘陶瓷(14)的两端分别设有屏蔽环(19)和屏蔽球(15)，所述的法兰(11)上还安装有大底板(1)、第一步进电机(13)和第二步进电机(18)。2. 如权利要求1所述的带运动补偿的高压馈入真空态装置，其特征在于所述的第一 步进电机(13)的动力输出轴通过第一传动轴(8)与安装在大底板(1)上的第一传动器(7) 相连，第一传动器(7)与小底板(6)相连，接地电极(2)固定在小底板(6)之上；第二步进 电机(18)的动力输出轴通过第二传动轴(25)与安装在大底板(1)上的第...
【专利技术属性】
技术研发人员：张小奇，马力祯，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]
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