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反射体扫描器制造技术

技术编号:41287951 阅读:16 留言:0更新日期:2024-05-11 09:36
本发明专利技术包括:框架,其具有框状部和一组交联部,并且该框架被支撑以便绕第一轴线可旋转;镜部,其经由沿着第二轴线延伸的第一弹性构件连接至框架的内部;以及第一驱动部和第二驱动部。第一驱动部包括:第一对磁体,其彼此相对地设置以便沿着第一轴线夹在框架中;第一线圈,其被设置在第一环形部分中,该第一环形部分由一个交联部和框状部的一部分形成,所述一个交联部比镜部更靠近第一对磁体当中的朝着一侧的磁体,并且所述框状部的所述一部分与一个交联部相比更靠近第一对磁体的所述一侧;以及第二线圈,其被设置在第二环形部分中,该第二环形部分由另一交联部和框状部的一部分形成,所述另一交联部比镜部更靠近第一对磁体当中的朝着另一侧的磁体,并且所述框状部的所述一部分与所述另一交联部相比更靠近第一对磁体的所述另一侧。第二驱动部包括:第二对磁体,其彼此相对地设置,以便沿着第二轴线夹在框架的处于一组交联部之间的区域中;以及第三线圈,其被设置在框状部的处于一组交联部之间的至少一个区域中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及扫描反射体(reflector)的方向的反射体扫描器


技术介绍

1、已知一种作为反射体扫描器的具有微机电系统(mems)结构的驱动装置,其中,使所接收的光反射,同时沿彼此垂直的两个轴方向进行扫描。

2、此外,作为驱动装置,已经提出了这样一种装置,该装置具有板状且矩形的第一可移动部分、第二可移动部分以及支撑构件,该第一可移动部分设置有沿着第一方向并置的三个开口部分,该第二可移动部分设置有反射表面(参见专利文献1)。

3、第二可移动部分由沿着第一方向伸展(stretching)的一对第一扭杆(torsionbar)支撑在第一可移动部分的中心开口部分中。支撑构件通过在垂直于第一方向的第二方向上伸展的一对第二扭杆来支撑第一可移动部分。

4、在第一可移动部分的表面上,设置有沿着第一可移动部分的四个侧面的端部被布线成围绕中心开口部分的第一线圈和被布线成围绕三个开口部分的第二线圈。另外,第一可移动部分的三个开口部分中的处于两端的开口部分各自设置有一对磁性构件,该对磁性构件被第一对磁体磁化成彼此不同的极性。该对磁体被设置在第一可移动部分的处于中心的开口部分下方。此外,在支撑构件的外围处的第二线圈中的沿着第二方向的一对节段(section)附近,设置有具有不同极性的彼此面对的一对第二磁体。

5、利用该配置,通过第一线圈间歇地供应电流来向第一可移动部分上的区域(被称为第一区域)施加力,在该区域中设置有第一线圈并且该区域是沿着磁性构件的。因此,第二可移动部分绕作为中心轴线的第一扭杆振荡。另外,通过第二线圈间歇地供应电流来向第一可移动部分上的区域(被称为第二区域)施加力,在该区域中设置有第二线圈并且该区域是沿着第二磁体的。因此,第二可移动部分绕作为中心轴线的第二扭杆振荡。结果,在第一方向和第二方向上扫描第二可移动部分的反射表面的方向,并且允许在两个轴方向上扫描所接收的光。

6、现有专利文献

7、专利文献

8、专利文献1:日本特许第6726356号


技术实现思路

1、技术问题

2、附加地,在专利文献1所描述的驱动装置中,不仅第二线圈而且第一线圈是在这样的区域中布线的,即,该区域沿着其中第一可移动部分的四个侧面的端部的第二磁体相邻的侧面。因此,在驱动装置中,为了防止因流过第一线圈的电流而向该区域施加的力(即,所谓的串扰),将第二磁体划分并放置在该区域中的除了第一线圈被布线的节段之外的四个位置中。

3、因此,在构造驱动装置时,除了第一对磁体之外,还必需准备四个第二磁体(即,六个系统的磁体),各个磁体皆需要以分布式方式来安装。因此,存在的问题在于,部件的数量增加并且结构变得更加复杂,从而导致更高的制造成本。

4、本专利技术的目的是提供一种能够抑制制造成本和串扰的反射体扫描器。

5、技术方案

6、根据本专利技术的反射体扫描器包括:框架、镜部分、第一驱动部分、以及第二驱动部分。框架包括沿着一个表面延伸的框状部分,并且绕沿着所述一个表面的第一轴线可转动地保持。镜部分经由在沿着所述一个表面的第二轴线上伸展的第一弹性构件连接至框架的内部。第一驱动部分在绕作为中心轴线的第二轴线的旋转方向上转动框架。第二驱动部分在绕作为中心轴线的第一轴线的旋转方向上转动框架。框架包括一组桥接部分,所述一组桥接部分伸展以在框架内部夹置(interpose)第一轴线,并且横跨框架的横穿第二轴线的相对两部分(opposed portions)。第一驱动部分包括:第一成对磁体,该第一成对磁体被设置为彼此相对,使得第一成对磁体在第一轴线上夹置框架;第一线圈,该第一线圈被布线在第一环形部分中,该第一环形部分由一个桥接部分以及框状部分的相对于所述一个桥接部分而处于第一成对磁体的一侧的一部分形成,所述一个桥接部分比镜部分更靠近第一成对磁体中的一个磁体;以及第二线圈,该第二线圈被布线在第二环形部分中,该第二环形部分由另一桥接部分以及框状部分的相对于所述另一桥接部分而处于第一成对磁体的另一侧的一部分形成,所述另一桥接部分比镜部分更靠近第一成对磁体中的另一磁体。第二驱动部分包括:第二成对磁体,该第二成对磁体被设置为彼此相对,使得第二成对磁体在第二轴线上夹置框架的处于所述一组桥接部分之间的区域;以及第三线圈,该第三线圈被至少布线在框状部分的处于所述一组桥接部分之间的区域中。

7、此外,根据本专利技术的反射体扫描器包括:框架,镜部分、成对磁体、线圈、第一支撑柱、以及第二支撑柱。框架包括沿着一个表面延伸的框状部分,并且绕沿着所述一个表面的第一轴线可转动地保持。镜部分经由在沿着所述一个表面的第二轴线上伸展的第一弹性构件连接至框架的内部。成对磁体被设置为彼此相对,以便夹置框架。线圈被布线在框架的框状部分和所述一组桥接部分中。第一支撑柱被安装在第一环形部分的外壳的内部。第二支撑柱被安装在第二环形部分的外壳的内部。框架包括一组桥接部分,所述一组桥接部分伸展以在框架内部夹置第一轴线,并且横跨框架的横穿第二轴线的相对两部分。第一支撑柱经由沿着第一轴线伸展的弹性构件,连接至所述一组桥接部分中的一个桥接部分,并且第二支撑柱经由沿着第一轴线伸展的弹性构件,连接至所述一组桥接部分中的另一桥接部分。

8、技术效果

9、利用本专利技术,使用四个磁体允许镜部分在两个轴方向上振荡,同时抑制影响(串扰),该影响是流过线圈的用于使经由弹性构件连接至镜部分的框架在绕作为中心轴线的第二轴线的旋转方向上转动的驱动电流对用于使框架在绕作为中心轴线的第一轴线的旋转方向上转动的力的影响。

10、因此,本专利技术允许减小装置的尺寸并降低其制造成本。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种反射体扫描器,所述反射体扫描器包括:

2.根据权利要求1所述的反射体扫描器,其中,

3.根据权利要求1所述的反射体扫描器,其中,

4.根据权利要求1所述的反射体扫描器,其中,

5.根据权利要求4所述的反射体扫描器,其中,

6.根据权利要求1或2所述的反射体扫描器,其中,

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的反射体扫描器,所述反射体扫描器还包括:

8.一种反射体扫描器,所述反射体扫描器包括:

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种反射体扫描器,所述反射体扫描器包括:

2.根据权利要求1所述的反射体扫描器,其中,

3.根据权利要求1所述的反射体扫描器,其中,

4.根据权利要求1所述的反射体扫描器,其中,

5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:伊藤三朗中泽行雄
申请(专利权)人:英唐微技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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