反射体扫描器制造技术

本发明专利技术包括：框架，其具有框状部和一组交联部，并且该框架被支撑以便绕第一轴线可旋转；镜部，其经由沿着第二轴线延伸的第一弹性构件连接至框架的内部；以及第一驱动部和第二驱动部。第一驱动部包括：第一对磁体，其彼此相对地设置以便沿着第一轴线夹在框架中；第一线圈，其被设置在第一环形部分中，该第一环形部分由一个交联部和框状部的一部分形成，所述一个交联部比镜部更靠近第一对磁体当中的朝着一侧的磁体，并且所述框状部的所述一部分与一个交联部相比更靠近第一对磁体的所述一侧；以及第二线圈，其被设置在第二环形部分中，该第二环形部分由另一交联部和框状部的一部分形成，所述另一交联部比镜部更靠近第一对磁体当中的朝着另一侧的磁体，并且所述框状部的所述一部分与所述另一交联部相比更靠近第一对磁体的所述另一侧。第二驱动部包括：第二对磁体，其彼此相对地设置，以便沿着第二轴线夹在框架的处于一组交联部之间的区域中；以及第三线圈，其被设置在框状部的处于一组交联部之间的至少一个区域中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及扫描反射体(reflector)的方向的反射体扫描器。

技术介绍

1、已知一种作为反射体扫描器的具有微机电系统(mems)结构的驱动装置，其中，使所接收的光反射，同时沿彼此垂直的两个轴方向进行扫描。

2、此外，作为驱动装置，已经提出了这样一种装置，该装置具有板状且矩形的第一可移动部分、第二可移动部分以及支撑构件，该第一可移动部分设置有沿着第一方向并置的三个开口部分，该第二可移动部分设置有反射表面(参见专利文献1)。

3、第二可移动部分由沿着第一方向伸展(stretching)的一对第一扭杆(torsionbar)支撑在第一可移动部分的中心开口部分中。支撑构件通过在垂直于第一方向的第二方向上伸展的一对第二扭杆来支撑第一可移动部分。

4、在第一可移动部分的表面上，设置有沿着第一可移动部分的四个侧面的端部被布线成围绕中心开口部分的第一线圈和被布线成围绕三个开口部分的第二线圈。另外，第一可移动部分的三个开口部分中的处于两端的开口部分各自设置有一对磁性构件，该对磁性构件被第一对磁体磁化成彼此不同的极性。该对磁体被设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种反射体扫描器，所述反射体扫描器包括：

2.根据权利要求1所述的反射体扫描器，其中，

3.根据权利要求1所述的反射体扫描器，其中，

4.根据权利要求1所述的反射体扫描器，其中，

5.根据权利要求4所述的反射体扫描器，其中，

6.根据权利要求1或2所述的反射体扫描器，其中，

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的反射体扫描器，所述反射体扫描器还包括：

8.一种反射体扫描器，所述反射体扫描器包括：

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种反射体扫描器，所述反射体扫描器包括：

2.根据权利要求1所述的反射体扫描器，其中，

3.根据权利要求1所述的反射体扫描器，其中，

4.根据权利要求1所述的反射体扫描器，其中，

5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤三朗，中泽行雄，
申请(专利权)人：英唐微技术有限公司，
类型：发明
国别省市：