【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体材料生产的，尤其是涉及一种mo源品质检测系统，一种具体应用为新能源产业。
技术介绍
1、金属有机化合物源,简称mo源,亦称前a915ay-100m体或前驱体。gan系列材料生长所常用到的mo源主要有tmga、tega、tmai、tmin、cp2mg、dmzn和dezn等几种,其中cp2mg、dmzn和dezn主要用作p型掺杂源。
2、mo源在室温下一般为液态或固态,具有适当并且稳定的蒸气压、适宜的热分解温度、不易与组合使用的其他的源发生预沉积反应、在源瓶中稳定,这些特点使得可以实现gan系列材料的精确外延生长。
3、由于mo源的品质不同，容易造成gan系列材料的外延生长存在较大差异，因此亟需一种能够自动检测mo源品质的方式。
技术实现思路
1、为了实现对mo源品质的自动检测，本申请提供一种mo源品质检测系统。
2、本申请提供的一种mo源品质检测系统采用如下的技术方案：
3、一种mo源品质检测系统，包括载气供应单元、测试单元、尾气处理单元和真空单元；
4、所述载气供应单元用于向系统供应载气；
5、所述测试单元用于调节反应压力，并且对反应物进行检测；
6、所述尾气处理单元用于对反应过程中产生的尾气进行处理；
7、所述真空单元用于为整个系统提供真空。
8、通过采用上述技术方案，在使用时通过载气供应单元为系统供应载气，之后通过测试单元调节测试压力并且实现对反应物的测试
9、可选的，所述载气供应单元包括载气缓冲罐，所述载气缓冲罐的进气端连接有气体纯化器，所述载气缓冲罐的出气端与测试单元连接。
10、通过采用上述技术方案，通过设置载气缓冲罐和气体纯化器，一方面能够保证载气的纯度，另一方面能够使得载气能够以稳定的压力输出至后续的测试单元内，从而使得载气能够更好的进行后续的利用，进而使得整体的测试过程更加准确。
11、可选的，所述测试单元包括与所述载气供应单元连通的压力控制器，所述压力控制器用于调节载气供应单元输出至测试单元内部载气的压力，所述压力控制器的输出端连通有多个源瓶，每个所述源瓶内部均放置有mo源，所述源瓶的出气端连通有检测器。
12、通过采用上述技术方案，由于设置有压力控制器，因此可以通过调节压力控制器调整载气进入到源瓶内部的气压值，从而测试不同反应压力状态mo源的品质，使得测试结果更加准确。
13、可选的，所述测试单元还包括气体质量流量控制器，所述气体质量流量控制器与所述压力控制器并联设置，所述气体质量流量控制器与所述载气供应单元和所述源瓶连通并用于调节进入到所述源瓶内部载气的流量。
14、通过采用上述技术方案，通过设置气体质量流量控制器，可以使得通过气体质量流量控制器调节载气进入到源瓶内部的不同流量，进而实现对不同载气流量状态下的mo源的品质进行检测，使得检测结果更加准确。
15、可选的，所述测试单元还包括与所述载气供应单元连通的第三支管，所述第三支管与所述压力控制器和所述气体质量流量控制器并联设置并与所述源瓶连通。
16、通过采用上述技术方案，由于第三支管的存在，方便了工作人员对系统整体管道进行清扫的过程。
17、可选的，每个所述源瓶的出气端与所述检测器之间均连通有气体质量流量控制器。
18、通过采用上述技术方案，通过在源瓶的出气端设置气体质量流量控制器，从而可以设定源瓶内部的反应气体进入到检测器的流量值，从而使得检测的结果更加准确。
19、可选的，每个所述源瓶均连通有反应进管和反应出管，且同一个所述源瓶的反应进管和反应出管之间均连通有连通管，且所述连通管上设有阀门。
20、通过采用上述技术方案，在需要更换源瓶时，仅需封堵反应进管和反应出管与源瓶所连接的端部，之后开启连通管上的阀门，即可实现源瓶的更换操作，从而减少了工作人员更换源瓶的麻烦。
21、可选的，所述纯化器包括筒体，所述筒体内部设有多个隔层将所述筒体内部空间分隔成多层且用于供载气穿过，每个所述隔层上侧均设有纯化剂，所述筒体连通有进管和出管。
22、通过采用上述技术方案，在需要对载气进行纯化操作时，将载气通过进管通入筒体内部，之后载气位于筒体内部与纯化剂接触实现载气的纯化过程，纯化完成的载气通过出管引出筒体内部即可进行后续反应。
23、可选的，所述进管位于每个所述隔层上侧的位置均分为两段，且每两段相邻的所述进管之间均转动连接有连通两段所述进管的连套，每个所述连套内部均固定连接有风扇，每个所述连套的外部均固定连接有均布板，且每个所述均布板的下表面均位于相邻的所述隔层上侧与所述隔层平行设置。
24、通过采用上述技术方案，在通过进管向筒体内部导入载气时，进管将载气引导至筒体内部，载气在进管内部流动的过程中，载气带动风扇以及连套转动，连套转动的过程中带动相连接的均布板转动，均布板在转动的过程中带动相邻隔层上侧的纯化剂移动，从而使得纯化剂能够均布至隔层上侧，在气体穿过隔层的过程中，能够被均匀纯化。
25、可选的，所述进管贯穿多个所述隔层的一端下侧设有挡板，所述挡板上侧与所述进管的端口抵接，所述挡板的下侧与所述筒体的内底壁之间连接有多个压力弹簧，所述挡板被贯穿且螺纹连接有多个均布丝杠，每个所述均布丝杠的一端均与筒体的内底壁转动连接，且每个所述均布丝杠远离所述筒体内底壁的一端均固定连接有多个均布杆，所述筒体内部设有多个能够与多个所述均布杆抵接且位于多个所述隔层下侧的均布球。
26、通过采用上述技术方案，在进管将载气引导至筒体底部时，载气带动挡板向下移动，之后挡板带动相连接的多个丝杠转动，每个丝杠在转动的过程中均带动相连接的均布杆转动，均布杆在转动的过程中带动相邻的均布球移动，从而使得均布球能够对筒体底部的载气进行均布过程。
27、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
28、通过设置载气供应单元、测试单元、尾气处理单元和真空单元，能够实现对mo源品质的检测；
29、通过设置压力控制器和气体质量流量控制器，可以实现在不同载气压力和不同载气流量状态下的mo源品质的检测过程；
30、通过在筒体内部设置多个均布球和均布板，可以使得载气能够与纯化剂进行充分接触，实现载气的充分纯化过程。
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1.一种Mo源品质检测系统，其特征在于：包括载气供应单元(1)、测试单元(2)、尾气处理单元(3)和真空单元(4)；
2.根据权利要求1所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述载气供应单元(1)包括载气缓冲罐(11)，所述载气缓冲罐(11)的进气端连接有气体纯化器(12)，所述载气缓冲罐(11)的出气端与所述测试单元(2)连接。
3.根据权利要求1所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述测试单元(2)包括与所述载气供应单元(1)连通的压力控制器(22)，所述压力控制器(22)用于调节载气供应单元(1)输出至测试单元(2)内部载气的压力，所述压力控制器(22)的输出端连通有多个源瓶(27)，每个所述源瓶(27)内部均放置有Mo源，所述源瓶(27)的出气端连通有检测器(28)。
4.根据权利要求3所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述测试单元(2)还包括气体质量流量控制器(24)，所述气体质量流量控制器(24)与所述压力控制器(22)并联设置，所述气体质量流量控制器(24)与所述载气供应单元(1)和所述源瓶(27)连通并用于调节
5.根据权利要求4所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述测试单元(2)还包括与所述载气供应单元(1)连通的第三支管(25)，所述第三支管(25)与所述压力控制器(22)和所述气体质量流量控制器(24)并联设置并与所述源瓶(27)连通。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：每个所述源瓶(27)的出气端与所述检测器(28)之间均连通有气体质量流量控制器(24)。
7.根据权利要求3所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：每个所述源瓶(27)均连通有反应进管(271)和反应出管(272)，且同一个所述源瓶(27)的反应进管(271)和反应出管(272)之间均连通有连通管(273)，且所述连通管(273)上设有阀门。
8.根据权利要求2所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述纯化器包括筒体(121)，所述筒体(121)内部设有多个隔层(122)将所述筒体(121)内部空间分隔成多层且用于供载气穿过，每个所述隔层(122)上侧均设有纯化剂，所述筒体(121)连通有进管(123)和出管(124)。
9.根据权利要求8所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述进管(123)位于每个所述隔层(122)上侧的位置均分为两段，且每两段相邻的所述进管(123)之间均转动连接有连通两段所述进管(123)的连套(1231)，每个所述连套(1231)内部均固定连接有风扇(1232)，每个所述连套(1231)的外部均固定连接有均布板(1233)，且每个所述均布板(1233)的下表面均位于相邻的所述隔层(122)上侧与所述隔层(122)平行设置。
10.根据权利要求9所述的一种Mo源品质检测系统，其特征在于：所述进管(123)贯穿多个所述隔层(122)的一端下侧设有挡板(125)，所述挡板(125)上侧与所述进管(123)的端口抵接，所述挡板(125)的下侧与所述筒体(121)的内底壁之间连接有多个压力弹簧(1251)，所述挡板(125)被贯穿且螺纹连接有多个均布丝杠(126)，每个所述均布丝杠(126)的一端均与筒体(121)的内底壁转动连接，且每个所述均布丝杠(126)远离所述筒体(121)内底壁的一端均固定连接有多个均布杆(1261)，所述筒体(121)内部设有多个能够与多个所述均布杆(1261)抵接且位于多个所述隔层(122)下侧的均布球(127)。
...【技术特征摘要】
1.一种mo源品质检测系统，其特征在于：包括载气供应单元(1)、测试单元(2)、尾气处理单元(3)和真空单元(4)；
2.根据权利要求1所述的一种mo源品质检测系统，其特征在于：所述载气供应单元(1)包括载气缓冲罐(11)，所述载气缓冲罐(11)的进气端连接有气体纯化器(12)，所述载气缓冲罐(11)的出气端与所述测试单元(2)连接。
3.根据权利要求1所述的一种mo源品质检测系统，其特征在于：所述测试单元(2)包括与所述载气供应单元(1)连通的压力控制器(22)，所述压力控制器(22)用于调节载气供应单元(1)输出至测试单元(2)内部载气的压力，所述压力控制器(22)的输出端连通有多个源瓶(27)，每个所述源瓶(27)内部均放置有mo源，所述源瓶(27)的出气端连通有检测器(28)。
4.根据权利要求3所述的一种mo源品质检测系统，其特征在于：所述测试单元(2)还包括气体质量流量控制器(24)，所述气体质量流量控制器(24)与所述压力控制器(22)并联设置，所述气体质量流量控制器(24)与所述载气供应单元(1)和所述源瓶(27)连通并用于调节进入到所述源瓶(27)内部载气的流量。
5.根据权利要求4所述的一种mo源品质检测系统，其特征在于：所述测试单元(2)还包括与所述载气供应单元(1)连通的第三支管(25)，所述第三支管(25)与所述压力控制器(22)和所述气体质量流量控制器(24)并联设置并与所述源瓶(27)连通。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的一种mo源品质检测系统，其特征在于：每个所述源瓶(27)的出气端与所述检测器(28)之间均连通有气体质量流量控制器(24)。
7.根据权利要求3所述的一种mo源品质检测系统，其特征在于：每个所述源瓶(27)均连通...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘华杰，张松，张思勰，任如，
申请(专利权)人：上海栎智半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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