【技术实现步骤摘要】
本申请涉及化工，具体涉及一种氟氮混合气预加热进样装置。
技术介绍
1、氟氮混合气(f2-n2)是原子能工业、含氟电子特气、医药中间体等的重要原料，同时还是一些特殊材料表面改性的理想材料，例如集成电路和各种电子元器件的生产，半导体制造工艺中cvd腔室的清洗，准确监控氟氮气的配比含量及各杂质对于产品后续使用尤为重要。
2、传统的f2-n2采样的过程通过直接连接分析仪器，不便于对分析管路置换、样气吹扫。
3、进一步的该方式不便于后端分析仪器流量控制与保护。
4、进一步的该采样过程对于人员操作不安全，如有氟气溢出风险。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本申请提供了一种氟氮混合气预加热进样装置，解决传统的f2-n2采样的过程通过直接连接分析仪器，不便于对分析管路置换、样气吹扫。
2、为实现上述目的，专利技术人提供了一种氟氮混合气预加热进样装置，包括：
3、罐体，所述罐体包括进气口及出气口；
4、加热装置，所述加热装置设置在罐体上，所述加热装置用于对罐体进行加热；
5、第一进气管，所述第一进气管连接于所述罐体的进气口，所述第一进气管用于将高纯氮气送入罐体；
6、第二进气管，所述第二进气管连接于所述罐体的进气口，所述第二进气管用于将样气送入罐体；
7、第一阀门，所述第一阀门设置在第一进气管上，所述第一阀门用于控制第一进气管断通；
8、第二阀门，所述第二阀门设置在第二进气管上，所
9、第一出气管，所述第一出气管的一端连接于所述罐体的出气口，所述第一出气管的另一端连接于分析仪器；
10、第二出气管，所述第二出气管的一端连接于所述罐体的出气管，所述第二出气管的另一端连接于抽空负压系统；
11、第三阀门，所述第三阀门设置在所述第一出气管上，所述第三阀门用于控制第一出气管的断通；
12、第四阀门，所述第四阀门设置在所述第二出气管上，所述第四阀门用于控制第二出气管的断通。
13、在一些实施例中，所述加热装置包括加热保温套。
14、在一些实施例中，所述罐体为不锈钢罐体。
15、在一些实施例中，所述罐体内还设有过滤网。
16、在一些实施例中，所述罐体的出气口设置在所述罐体的顶部，所述罐体的进气口设置在所述罐体的中下部。
17、在一些实施例中，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门及第四阀门均采用不锈钢球阀。
18、在一些实施例中，所述第一出气管上还设有不锈钢针阀，所述不锈钢针阀设置在第三阀门及分析仪器之间。
19、在一些实施例中，所述第一进气管、第二进气管、第一出气管及第二出气管均为不锈钢管。
20、在一些实施例中，所述抽空负压系统的后端连接有尾气吸收系统。
21、区别于现有技术，上述技术方案，需要对氟氮混合气进行采样时，首先，开启第一阀门，将高纯氮气从第一进气管送入罐体内，此时第二阀门、第三阀门及第四阀门处于关闭状态，使得高纯氮气充满整个罐体，然后，关闭第一阀门，开启第四阀门，通过抽空负压系统对罐体进行抽真空，然后反复执行高纯氮气送入罐体及对罐体进行抽真空的步骤，进行氮气的吹扫和置换；当氮气的吹扫和置换完成后，开启第二阀门，关闭第一阀门、第二阀门及第三阀门，将样气充满整个罐体，然后通过加热装置对罐体进行加热，确保罐体内的样气的温度大于100℃，然后关闭第二阀门，开启第四阀门，进行样气置换；然后重复执行样气置换步骤，当样气置换完成后，开启第一阀门、第二阀门及第三阀门，使得样气通过第一出气管送入分析仪器中进行各成分含量分析。通过该装置可以实现对分析管路进行置换及样气吹扫，使得分析仪器分析结果更准确。
22、上述
技术实现思路
相关记载仅是本申请技术方案的概述，为了让本领域普通技术人员能够更清楚地了解本申请的技术方案，进而可以依据说明书的文字及附图记载的内容予以实施，并且为了让本申请的上述目的及其它目的、特征和优点能够更易于理解，以下结合本申请的具体实施方式及附图进行说明。
【技术保护点】
1.一种氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述加热装置包括加热保温套。
3.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述罐体为不锈钢罐体。
4.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述罐体内还设有过滤网。
5.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述罐体的出气口设置在所述罐体的顶部，所述罐体的进气口设置在所述罐体的中下部。
6.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门及第四阀门均采用不锈钢球阀。
7.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述第一出气管上还设有不锈钢针阀，所述不锈钢针阀设置在第三阀门及分析仪器之间。
8.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述第一进气管、第二进气管、第一出气管及第二出气管均为不锈钢管。
9.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进
...【技术特征摘要】
1.一种氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述加热装置包括加热保温套。
3.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述罐体为不锈钢罐体。
4.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述罐体内还设有过滤网。
5.根据权利要求1所述的氟氮混合气预加热进样装置，其特征在于，所述罐体的出气口设置在所述罐体的顶部，所述罐体的进气口设置在所述罐体的中下部。
6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴志远，刘世鹏，杨涛，
申请(专利权)人：福建永晶科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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